Semicera's 4 ", 6", na 8" N-ụdị SiC Ingots na-anọchite anya ọganihu na ihe semiconductor, nke e mere iji gboo mkpa na-arịwanye elu nke usoro eletriki na ike nke oge a. Ingots ndị a na-enye ntọala siri ike ma kwụsie ike maka ngwa semiconductor dị iche iche, na-eme ka ọ dị mma. arụmọrụ na ogologo ndụ.
A na-emepụta ingots ụdị N-ụdị SiC anyị site na iji usoro nrụpụta dị elu na-eme ka nrụpụta eletrik ha na nkwụsi ike ọkụ. Nke a na-eme ka ha dị mma maka ngwa ike dị elu na nke dị elu, dị ka inverters, transistor na ngwaọrụ eletrik ndị ọzọ ebe arụmọrụ na ntụkwasị obi dị oke mkpa.
Kpọmkwem doping nke ingots ndị a na-eme ka a mara na ha na-enye arụmọrụ na-agbanwe agbanwe ma na-emegharị ugboro ugboro. Nkwekọrịta a dị oke mkpa maka ndị mmepe na ndị na-emepụta ihe na-akwalite oke teknụzụ na mpaghara dịka ikuku ikuku, ụgbọ ala, na nkwukọrịta. Semicera's SiC ingots na-enyere aka imepụta ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ nke ọma n'okpuru ọnọdụ dị oke egwu.
Ịhọrọ Semicera's N-ụdị SiC Ingots pụtara ijikọ ihe ndị nwere ike ijikwa okpomọkụ dị elu na ibu eletrik dị elu n'ụzọ dị mfe. Ingots ndị a dabara adaba maka imepụta akụrụngwa chọrọ njikwa ọkụ dị mma yana arụ ọrụ ugboro ugboro, dị ka amplifiers RF na modul ike.
Site n'ịhọrọ Semicera's 4", 6" na 8" N-ụdị SiC Ingots, ị na-etinye ego na ngwaahịa na-ejikọta ihe onwunwe pụrụ iche na nkenke na ntụkwasị obi nke teknụzụ semiconductor chọrọ. na-enye ihe ngwọta ọhụrụ nke na-akwalite ọganihu nke mmepụta ngwá electronic.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
