Semicera's 4 inch High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC A na-emepụta ihe eji emepụta ihe dị n'akụkụ abụọ iji gboo ihe ndị ụlọ ọrụ semiconductor chọrọ. Ndị a substrates e mere na ahụkebe flatness na ịdị ọcha, àjà ihe kasị mma n'elu ikpo okwu maka ọnwụ onu electronic ngwaọrụ.
Ndị a HPSI SiC wafers bụ ndị a na-amata site na nrụpụta ọkụ ha dị elu na ihe mkpuchi ọkụ eletrik, na-eme ka ha bụrụ nhọrọ magburu onwe ya maka ngwa ngwa dị elu na ike dị elu. Usoro nchacha nke akụkụ abụọ na-eme ka ọ dị ntakịrị elu, nke dị mkpa maka ịkwalite arụmọrụ ngwaọrụ na ogologo ndụ.
Ịdị ọcha dị elu nke Semicera's SiC wafers na-ebelata ntụpọ na adịghị ọcha, na-eduga na ọnụego mkpụrụ dị elu yana ntụkwasị obi ngwaọrụ. Ihe ndị a dabara adaba maka ngwa dị iche iche, gụnyere ngwa ngwa ngwa ngwa, ngwa eletrọnịkị, na teknụzụ LED, ebe izizi na ịdịte aka dị mkpa.
Site n'ilekwasị anya na ihe ọhụrụ na ịdị mma, Semicera na-eji usoro nrụpụta dị elu iji mepụta wafers nke na-emezu ihe siri ike nke ngwa elektrọn ọgbara ọhụrụ. Nchacha nke akụkụ abụọ ọ bụghị naanị na-eme ka ike arụ ọrụ dịkwuo mma kamakwa ọ na-eme ka njikọ dị mma na ihe ndị ọzọ semiconductor.
Site na ịhọrọ Semicera's 4 inch High Purity Semi-Insulating HPSI SiC Double-side Polished Wafer Substrates, ndị na-emepụta nwere ike itinye uru nke njikwa ọkụ na mkpuchi ọkụ eletrik, na-emeghe ụzọ maka mmepe nke ngwa elektrọnik na-arụ ọrụ nke ọma ma dị ike. Semicera na-aga n'ihu na-eduzi ụlọ ọrụ ahụ na ntinye aka ya na ọganihu na nkà na ụzụ.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
