Semicera's 4”6” High Purity Semi-Insulating SiC Ingots bụ nke emebere iji zute ụkpụrụ ziri ezi nke ụlọ ọrụ semiconductor. A na-emepụta ingots ndị a na-elekwasị anya na ịdị ọcha na ịdị ọcha, na-eme ka ha bụrụ nhọrọ dị mma maka ike dị elu na ngwa ngwa ugboro ugboro ebe arụmọrụ dị oke mkpa.
Ngwongwo pụrụ iche nke ingots SiC ndị a, gụnyere nnukwu ikuku ọkụ yana ezigbo mgbochi ọkụ eletrik, na-eme ka ha dabara adaba maka ojiji na ngwa eletrọnịkị na ngwa ngwa ngwa ngwa. Ọdịdị ha na-ekpuchi ọkara na-enye ohere maka ikpo ọkụ ọkụ dị irè na obere nnyonye anya eletrik, na-eduga n'ịdị mma na ihe ndị a pụrụ ịdabere na ya.
Semicera na-eji usoro nrụpụta ọgbara ọhụrụ iji mepụta ingots nwere ogo kristal pụrụ iche na otu. Nke a ziri ezi na-eme ka a mara na enwere ike iji ingot ọ bụla mee ihe n'ụzọ ntụkwasị obi na ngwa nwere mmetụta, dị ka amplifiers dị elu, diodes laser, na ngwaọrụ ndị ọzọ optoelectronic.
Dị na nha inch 4 na 6-inch, Semicera's SiC ingots na-enye mgbanwe achọrọ maka nha mmepụta dị iche iche yana chọrọ teknụzụ. Ma maka nyocha na mmepe ma ọ bụ mmepụta ọtụtụ, ingots ndị a na-enye arụmọrụ na ịdịte aka nke usoro eletrọnịkị ọgbara ọhụrụ chọrọ.
Site na ịhọrọ Semicera's High Purity Semi-Insulating SiC Ingots, ị na-etinye ego na ngwaahịa na-ejikọta sayensị ihe dị elu yana nka n'ichepụta enweghị atụ. Semicera raara onwe ya nye ịkwado ihe ọhụrụ na uto nke ụlọ ọrụ semiconductor, na-enye ihe ndị na-enyere aka ịmepụta ngwaọrụ eletrọnịkị.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwunye azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
