Ụdị SiC Wafer nke 6 inch nke Semicera na-eguzo n'ihu nke teknụzụ semiconductor. Emebere ya maka ịrụ ọrụ kachasị mma, wafer a na-eme nke ọma na ngwa ike dị elu, nke dị elu na nke dị elu, dị mkpa maka ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu.
Ụdị SiC nke 6 inch N-ụdị nke anyị nwere atụmatụ ngagharị elektrọn dị elu yana nguzogide dị ala, nke bụ oke dị oke mkpa maka ngwaọrụ ike dị ka MOSFETs, diodes, na akụrụngwa ndị ọzọ. Ngwongwo ndị a na-eme ka ntụgharị ike dị mma ma belata mmepụta okpomọkụ, na-eme ka arụmọrụ na ndụ nke usoro eletrik dịkwuo elu.
Usoro njikwa mma siri ike nke Semicera na-agba mbọ hụ na wafer SiC ọ bụla na-edobe ịdị mma nke elu elu yana obere ntụpọ. Nlebara anya nke ọma a na nkọwa zuru ezu na-achọpụta na wafers anyị na-emezu ihe siri ike nke ụlọ ọrụ dịka ụgbọ ala, ikuku ikuku, na nkwukọrịta.
Na mgbakwunye na akụrụngwa eletrik ya kachasị elu, ụdị N-ụdị SiC wafer na-enye nkwụsi ike nke okpomọkụ na iguzogide oke okpomọkụ, na-eme ka ọ dị mma maka gburugburu ebe ihe eji eme ihe nwere ike ịda. Ikike a bara uru karịsịa na ngwa ndị metụtara ọrụ ugboro ugboro na ike dị elu.
Site na ịhọrọ ụdị Semicera's 6 Inch N-ụdị SiC Wafer, ị na-etinye ego na ngwaahịa na-anọchite anya isi mmalite nke ihe ọhụrụ semiconductor. Anyị na-agba mbọ ịnye ihe mgbochi ụlọ maka ngwaọrụ ndị na-egbutu ọnụ, hụ na ndị mmekọ anyị na ụlọ ọrụ dị iche iche na-enweta ihe kachasị mma maka ọganihu nkà na ụzụ ha.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |