6 inch N-ụdị SiC Wafer

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụdị SiC Wafer nke 6 inch nke Semicera na-enye conductivity okpomọkụ pụtara ìhè na ike ọkụ eletrik dị elu, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ kacha mma maka ike na ngwaọrụ RF. Wafer a, ahaziri iji gboo ihe ndị ụlọ ọrụ chọrọ, na-egosipụta ntinye aka Semicera na ịdịmma na ihe ọhụrụ n'ihe ndị semiconductor.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Ụdị SiC Wafer nke 6 inch nke Semicera na-eguzo n'ihu nke teknụzụ semiconductor. Emebere ya maka ịrụ ọrụ kachasị mma, wafer a na-eme nke ọma na ngwa ike dị elu, nke dị elu na nke dị elu, dị mkpa maka ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu.

Ụdị SiC nke 6 inch N-ụdị nke anyị nwere atụmatụ ngagharị elektrọn dị elu yana nguzogide dị ala, nke bụ oke dị oke mkpa maka ngwaọrụ ike dị ka MOSFETs, diodes, na akụrụngwa ndị ọzọ. Ngwongwo ndị a na-eme ka ntụgharị ike dị mma ma belata mmepụta okpomọkụ, na-eme ka arụmọrụ na ndụ nke usoro eletrik dịkwuo elu.

Usoro njikwa mma siri ike nke Semicera na-agba mbọ hụ na wafer SiC ọ bụla na-edobe ịdị mma nke elu elu yana obere ntụpọ. Nlebara anya nke ọma a na nkọwa zuru ezu na-achọpụta na wafers anyị na-emezu ihe siri ike nke ụlọ ọrụ dịka ụgbọ ala, ikuku ikuku, na nkwukọrịta.

Na mgbakwunye na akụrụngwa eletrik ya kachasị elu, ụdị N-ụdị SiC wafer na-enye nkwụsi ike nke okpomọkụ na iguzogide oke okpomọkụ, na-eme ka ọ dị mma maka gburugburu ebe ihe eji eme ihe nwere ike ịda. Ikike a bara uru karịsịa na ngwa ndị metụtara ọrụ ugboro ugboro na ike dị elu.

Site na ịhọrọ ụdị Semicera's 6 Inch N-ụdị SiC Wafer, ị na-etinye ego na ngwaahịa na-anọchite anya isi mmalite nke ihe ọhụrụ semiconductor. Anyị na-agba mbọ ịnye ihe mgbochi ụlọ maka ngwaọrụ ndị na-egbutu ọnụ, hụ na ndị mmekọ anyị na ụlọ ọrụ dị iche iche na-enweta ihe kachasị mma maka ọganihu nkà na ụzụ ha.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwucha azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: