Semicera's 6 inch Semi-Insulating HPSI SiC Wafers ka emebere iji gboo mkpa siri ike nke teknụzụ semiconductor ọgbara ọhụrụ. Site na ịdị ọcha pụrụ iche na nkwụsi ike, wafers ndị a na-eje ozi dị ka ntọala a pụrụ ịdabere na ya maka ịmepụta ngwa eletrọnịkị dị elu.
Ndị a HPSI SiC wafers bụ ndị ama ama maka nrụpụta ọkụ ha pụtara ìhè na mkpuchi eletrik, nke dị oke mkpa maka ịkwalite arụmọrụ nke ngwaọrụ ike na sekit ugboro ugboro. Ngwongwo ihe mkpuchi nke ọkara na-enyere aka n'ibelata nnyonye anya eletrik na ịbawanye arụmọrụ ngwaọrụ.
Usoro nrụpụta dị elu nke Semicera na-arụ na-eme ka a mara na wafer ọ bụla nwere ọkpụrụkpụ otu yana obere ntụpọ elu. Nke a ziri ezi dị mkpa maka ngwa dị elu dị ka ngwaọrụ ugboro redio, ihe ntụgharị ọkụ, na sistemụ LED, ebe arụmọrụ na ịdịte aka bụ isi ihe.
Site n'iji usoro mmepụta ọgbara ọhụrụ eme ihe, Semicera na-enye wafers na-abụghị naanị izute mana gafere ụkpụrụ ụlọ ọrụ. Ogo nke 6-inch na-enye mgbanwe n'ịkwalite mmepụta, na-enye ma nyocha na ngwa azụmahịa na mpaghara semiconductor.
Ịhọrọ Semicera's 6 Inch Semi-Insulating HPSI SiC Wafers pụtara itinye ego na ngwaahịa na-ewepụta ogo na arụmọrụ na-agbanwe agbanwe. Wafers ndị a bụ akụkụ nke ntinye aka Semicera n'ịkwalite ike nke teknụzụ semiconductor site na ihe ọhụrụ na nka nka.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
