The AlN Heater site semicera bụ ihe kpo oku dị elu nke emere site na aluminom nitride ceramic, emebere maka ngwa arụ ọrụ dị elu na ụlọ ọrụ dịka semiconductor, sistemu agụụ, na ndị ọzọ. Igwe ọkụ ọkụ pụrụiche nke ikpo ọkụ na mkpuchi ọkụ na-eme ka ọ dị mma maka ikpo ọkụ nkenke na gburugburu ebe ndị na-achọsi ike dị ka nhazi wafer, ndị na-ekpochapụ ikuku, na igwe sputtering.
Na semicera, anyị na-anya onwe anyị nganga na-ebuga ngwaahịa dị elu nke na-egbo mkpa ụlọ ọrụ, na AlN Heater abụghị ihe ọzọ. Emepụtara site na aluminom nitride (AlN), onye na-ekpo ọkụ a na-enye ezigbo nguzogide okpomọkụ, mgbasawanye ọkụ dị ala, na ike iguzogide oke okpomọkụ na-enweghị imebi arụmọrụ. Nkesa ọkụ nke ọma na-eme ka ọ dabara maka usoro dị oke egwu dị ka ntinye mmiri vapor (CVD) na ngwa ihe nkiri ndị ọzọ dị mkpa.
Na mgbakwunye, AlN Heater zuru oke maka ntinye n'ime ndị na-ekpo ọkụ wafer na ndị na-ekpochapụ ikuku, na-eme ka ọ bụrụ ihe ngwọta maka ndị nrụpụta na-adabere na ihe ndị na-ekpo ọkụ na-agbanwe agbanwe, dị elu. Na aluminom nitride machining na nkenke nitride nke aluminom na-ewu, a na-ewu ọkụ ọkụ maka ntụkwasị obi ogologo oge na njikwa kpo oku ziri ezi.
Ọ bụrụ na ị na-achọ ihe ngwọta AlN aluminom nitride nke karịrị ma ịdịte aka na arụmọrụ, semicera na-enye nhọrọ ntụkwasị obi na AlN Heater. Igwe ọkụ seramiiki a dị elu na-akwado teknụzụ na-egbutu na usoro CVD, sputtering, na ngwa semiconductor ndị ọzọ, na-enyere aka ịnọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe na gburugburu ebe okpomọkụ dị elu.
