CVD SiC Etching mgbanaka

Nkọwa dị mkpirikpi:

Emebere CVD SiC Etching Ring sitere na Semicera iji gboo mkpa siri ike nke nrụpụta semiconductor. Emebere ya site na silicon carbide dị elu, mgbanaka etching a na-eme ka arụmọrụ dị elu na usoro etching dị iche iche. Semicera na-ebute ịdịte aka na nkenke, na-eme ka mgbanaka etching anyị bụrụ ihe dị mkpa maka ngwa semiconductor ọ bụla dị elu.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Kedu ihe kpatara mkpuchi Silicon Carbide?

Ihe mgbanaka CVD SiC Etching sitere na Semicera, ihe ngwọta izizi emebere maka usoro nrụpụta semiconductor dị elu. Emebere mgbanaka etching anyị nke ọma iji kwalite arụmọrụ nke isi ịsa ahụ CVD SiC, na-ahụ na nsonaazụ kacha mma n'oge usoro mgbasa ozi. Site na nrụpụta ha siri ike na injinia ziri ezi, mgbanaka ndị a na-enye ntụkwasị obi na arụmọrụ achọrọ maka ngwa etch akọrọ dị elu.

Na Semicera, anyị ghọtara ọrụ siri ike nke silicon carbide na-arụ na teknụzụ semiconductor. A haziri mgbanaka CVD SiC etching nke ọma iji nabata usoro dị iche iche, gụnyere MOCVD na usoro etching ndị ọzọ. Ngwakọta SiC siri ike na-ekwe nkwa nkwụsi ike dị mma na nguzogide kemịkalụ, na-eme ka mgbanaka etching anyị bụrụ nhọrọ kacha amasị maka gburugburu ebe kachasị achọ.

Nkwenye anyị maka imepụta ihe ọhụrụ na ịdị mma na-ahụ na mgbanaka CVD SiC ọ bụla na-ezute ụkpụrụ ụlọ ọrụ kachasị elu. Họrọ Semicera maka azịza etching gị wee nweta ahụmịhe na-enweghị atụ na ịdịte aka nke ahaziri maka mkpa gị pụrụ iche. Site na nka anyị na SiC showerheads na teknụzụ etching, anyị nọ ebe a iji kwado ihe ịga nke ọma gị na ngalaba semiconductor.

Na mpaghara semiconductor, nkwụsi ike nke akụkụ ọ bụla dị ezigbo mkpa maka usoro dum. Otú ọ dị, na gburugburu ebe okpomọkụ dị elu, graphite na-adị mfe oxidized na efu, na mkpuchi SiC nwere ike inye nchebe siri ike maka akụkụ graphite. N'imeSemiceraotu, anyị nwere anyị onwe anyị graphite ọcha nhazi akụrụngwa, nke nwere ike ịchịkwa ịdị ọcha nke graphite n'okpuru 5ppm. Ịdị ọcha nke mkpuchi silicon carbide dịkwa n'okpuru 5ppm.