GaN Epitaxy

Nkọwa dị mkpirikpi:

GaN Epitaxy bụ isi nkuku na mmepụta nke ngwaọrụ semiconductor na-arụ ọrụ dị elu, na-enye arụmọrụ pụrụ iche, nkwụsi ike ọkụ, na ntụkwasị obi. A haziri ngwọta Semicera's GaN Epitaxy iji gboo ihe achọrọ nke ngwa dị oke ọnụ, na-ahụ n'anya na ịdị mma dị elu na nkwụsi ike n'ụdị ọ bụla.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Semiceraji nganga na-egosi oke ọnụ yaGaN Epitaxyọrụ, emebere iji gboo mkpa na-agbanwe agbanwe nke ụlọ ọrụ semiconductor. Gallium nitride (GaN) bụ ihe amaara maka akụrụngwa ya pụrụ iche, yana usoro uto epitaxial anyị na-ahụ na enwetara uru ndị a nke ọma na ngwaọrụ gị.

Ngosipụta GaN dị elu Semiceraọkachamara na mmepụta nke elu-eduGaN Epitaxyakwa akwa, na-enye ịdị ọcha ihe na-enweghị atụ na iguzosi ike n'ezi ihe. N'ígwé ndị a dị oke mkpa maka ngwa dị iche iche, site na eletrik eletrik ruo optoelectronics, ebe arụmọrụ dị elu na ntụkwasị obi dị mkpa. Usoro ntolite anyị nkenke na-ahụ na oyi akwa GaN ọ bụla na-emezu ụkpụrụ ziri ezi achọrọ maka ngwaọrụ ndị dị oke ọnụ.

Ebuliri maka ịrụ ọrụ nke ọmaNkeGaN EpitaxySemicera nyere ka emebere ya nke ọma iji kwalite arụmọrụ nke akụrụngwa eletrọnịkị gị. Site n'iwepụta ntụpọ GaN dị ala, ịdị ọcha dị elu, anyị na-enyere ngwaọrụ aka ịrụ ọrụ n'ogo dị elu na voltaji, yana mbelata ike. Nke a na njikarịcha bụ isi maka ngwa dị ka elu-electron-mobility transistor (HEMTs) na ìhè-emitting diodes (LED), ebe arụmọrụ dị mkpa.

Enwere ike ngwa ngwa ngwa ngwa Semicera'sGaN Epitaxydị iche iche, na-enye ọtụtụ ụlọ ọrụ na ngwa ngwa. Ma ị na-emepe emepe ike amplifiers, RF components, ma ọ bụ laser diodes, GaN epitaxial layers na-enye ntọala achọrọ maka arụmọrụ dị elu, ngwaọrụ ndị a pụrụ ịdabere na ya. Enwere ike ịhazi usoro anyị iji mezuo ihe achọrọ, na-ahụ na ngwaahịa gị rụpụta nsonaazụ kacha mma.

Nkwenye na OgoQuality bụ isi nkuku nkeSemicera's obibiaGaN Epitaxy. Anyị na-eji teknụzụ uto epitaxial dị elu yana usoro njikwa mma siri ike iji mepụta akwa GaN nke na-egosipụta njiri mara mma, njupụta ntụpọ dị ala, yana njirimara ihe dị elu. Nkwenye a maka ịdị mma na-eme ka o doo anya na ọ bụghị naanị na ngwaọrụ gị ga-ezute mana gafere ụkpụrụ ụlọ ọrụ.

Usoro uto ohuru Semicerabụ na mbụ nke ọhụrụ na ubi nkeGaN Epitaxy. Ndị otu anyị na-enyocha ụzọ na teknụzụ ọhụrụ iji kwalite usoro uto, na-ebuga ọkwa GaN na njirimara ọkụ ọkụ na nkwalite. Ihe ọhụrụ ndị a na-atụgharị gaa na ngwaọrụ na-arụ ọrụ nke ọma, nwere ike imezu ihe achọrọ nke ngwa ọgbọ na-abịa.

Ngwọta ahaziri maka ọrụ gịN'ịghọta na ọrụ ọ bụla nwere ihe pụrụ iche chọrọ.Semicerana-enye ahaziriGaN Epitaxyngwọta. Ma ịchọrọ profaịlụ doping kpọmkwem, ọkpụrụkpụ oyi akwa, ma ọ bụ imecha elu, anyị na gị na-arụkọ ọrụ ọnụ iji mepụta usoro na-egbo mkpa gị. Ebumnuche anyị bụ ịnye gị ọkwa GaN nke emeziri nke ọma iji kwado arụmọrụ na ntụkwasị obi ngwaọrụ gị.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwunye azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: