Semiceraji nganga na-egosi oke ọnụ yaGaN Epitaxyọrụ, emebere iji gboo mkpa na-agbanwe agbanwe nke ụlọ ọrụ semiconductor. Gallium nitride (GaN) bụ ihe amaara maka akụrụngwa ya pụrụ iche, yana usoro uto epitaxial anyị na-ahụ na enwetara uru ndị a nke ọma na ngwaọrụ gị.
Ngosipụta GaN dị elu Semiceraọkachamara na mmepụta nke elu-eduGaN Epitaxyakwa akwa, na-enye ịdị ọcha ihe na-enweghị atụ na iguzosi ike n'ezi ihe. N'ígwé ndị a dị oke mkpa maka ngwa dị iche iche, site na eletrik eletrik ruo optoelectronics, ebe arụmọrụ dị elu na ntụkwasị obi dị mkpa. Usoro ntolite anyị nkenke na-ahụ na oyi akwa GaN ọ bụla na-emezu ụkpụrụ ziri ezi achọrọ maka ngwaọrụ ndị dị oke ọnụ.
Ebuliri maka ịrụ ọrụ nke ọmaNkeGaN EpitaxySemicera nyere ka emebere ya nke ọma iji kwalite arụmọrụ nke akụrụngwa eletrọnịkị gị. Site n'iwepụta ntụpọ GaN dị ala, ịdị ọcha dị elu, anyị na-enyere ngwaọrụ aka ịrụ ọrụ n'ogo dị elu na voltaji, yana mbelata ike. Nke a na njikarịcha bụ isi maka ngwa dị ka elu-electron-mobility transistor (HEMTs) na ìhè-emitting diodes (LED), ebe arụmọrụ dị mkpa.
Enwere ike ngwa ngwa ngwa ngwa Semicera'sGaN Epitaxydị iche iche, na-enye ọtụtụ ụlọ ọrụ na ngwa ngwa. Ma ị na-emepe emepe ike amplifiers, RF components, ma ọ bụ laser diodes, GaN epitaxial layers na-enye ntọala achọrọ maka arụmọrụ dị elu, ngwaọrụ ndị a pụrụ ịdabere na ya. Enwere ike ịhazi usoro anyị iji mezuo ihe achọrọ, na-ahụ na ngwaahịa gị rụpụta nsonaazụ kacha mma.
Nkwenye na OgoQuality bụ isi nkuku nkeSemicera's obibiaGaN Epitaxy. Anyị na-eji teknụzụ uto epitaxial dị elu yana usoro njikwa mma siri ike iji mepụta akwa GaN nke na-egosipụta njiri mara mma, njupụta ntụpọ dị ala, yana njirimara ihe dị elu. Nkwenye a maka ịdị mma na-eme ka o doo anya na ọ bụghị naanị na ngwaọrụ gị ga-ezute mana gafere ụkpụrụ ụlọ ọrụ.
Usoro uto ohuru Semicerabụ na mbụ nke ọhụrụ na ubi nkeGaN Epitaxy. Ndị otu anyị na-enyocha ụzọ na teknụzụ ọhụrụ iji kwalite usoro uto, na-ebuga ọkwa GaN na njirimara ọkụ ọkụ na nkwalite. Ihe ọhụrụ ndị a na-atụgharị ka ọ bụrụ ngwaọrụ na-arụ ọrụ nke ọma, nwere ike imezu ihe achọrọ nke ngwa ọgbọ na-abịa.
Ngwọta ahaziri maka ọrụ gịN'ịghọta na ọrụ ọ bụla nwere ihe pụrụ iche chọrọ.Semicerana-enye ahaziriGaN Epitaxyngwọta. Ma ịchọrọ profaịlụ doping kpọmkwem, ọkpụrụkpụ oyi akwa, ma ọ bụ imecha elu, anyị na gị na-arụkọ ọrụ ọnụ iji mepụta usoro na-egbo mkpa gị. Ebumnuche anyị bụ ịnye gị ọkwa GaN nke emeziri nke ọma iji kwado arụmọrụ na ntụkwasị obi ngwaọrụ gị.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |