Nnukwu ịdị ọcha siri ike CVD Silicon Carbide SiC Bulk

Nnukwu ịdị ọcha siri ike CVD Silicon Carbide SiC nnukwu onyonyo egosipụtara

Nkọwa dị mkpirikpi:

A maara Semicera dị ka otu n'ime ndị ọkachamara kachasị dị ọcha siri ike graphite dabeere na CVD silicon carbide nnukwu ndị na-emepụta na ndị na-ebubata ya na China. ahaziri High ịdị ọcha siri ike dabere na CVD silicon carbide nnukwu abụghị naanị ọkaibe kamakwa ọ na-adịgide adịgide. E wezụga nke ahụ, anyị nwere ụlọ ọrụ mmepụta ihe ma anyị na-akwado nkwakọ ngwaahịa buru ibu. Bịa zụta ya!

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

A na-amata akụkụ siri ike CVD SILICON CARBIDE dị ka nhọrọ bụ isi maka mgbanaka RTP / EPI na ntọala na akụkụ plasm aetch cavity nke na-arụ ọrụ na sistemu dị elu chọrọ ọnọdụ okpomọkụ (> 1500 ℃), ihe achọrọ maka ịdị ọcha dị elu (> 99.9995%) na arụmọrụ dị mma karịsịa mgbe nguzogide kemịkalụ dị elu karịsịa. Ihe ndị a enweghị akụkụ nke abụọ na nsọtụ ọka, ya mere akụkụ ha na-emepụta ihe dị nta karịa ihe ndị ọzọ. Tụkwasị na nke a, enwere ike ihicha ihe ndị a site na iji HF / HCl na-ekpo ọkụ na obere mmebi, na-eme ka ụmụ irighiri ihe dị ntakịrị na ndụ ọrụ dị ogologo.