Ụgbọ mmiri graphite SEMICERA isostatic PECVD bụ ngwaahịa graphite dị ọcha dị elu nke e mere maka nkwado wafer na usoro PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). SEMICERA na-eji teknụzụ mgbaka isostatic dị elu iji hụ na ụgbọ mmiri graphite nwere oke nguzogide okpomọkụ dị elu, nguzogide corrosion, nkwụsi ike akụkụ yana ezigbo ikuku ikuku, nke bụ ihe dị mkpa dị mkpa na usoro nrụpụta semiconductor.
Ụgbọ mmiri graphite SEMICERA isostatic PECVD nwere uru ndị a:
▪ Ịdị ọcha dị elu: Ihe graphite nwere nnukwu ịdị ọcha yana ọdịnaya adịghị ọcha dị ala iji zere mmetọ nke elu wafer.
▪ Nnukwu njupụta: Nnukwu njupụta, ike ọrụ dị elu, nwere ike iguzogide ọnọdụ okpomọkụ dị elu na ebe oghere dị elu.
▪ Nkwụsi ike akụkụ dị mma: Obere mgbanwe akụkụ na oke okpomọkụ iji hụ na usoro kwụsiri ike.
▪ Nrụpụta ọkụ dị mma: Nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie ikpo ọkụ wafer.
▪ Nguzogide corrosion siri ike: Nwere ike iguzogide mbuze site na gas dị iche iche na-emebi emebi na plasma.
| Oke arụmọrụ | semicera | SGL R6510 | Oke arụmọrụ |
| Njupụta nnukwu (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Ike na-ehulata (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Ike mkpakọ (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Oke ike ike (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Ọnụọgụ nke mgbasawanye thermal (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| Ọnụọgụ nke mgbasawanye thermal (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Resistivity (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Uru nke ịhọrọ anyị:
▪ Nhọrọ ihe: A na-eji ihe graphite dị ọcha dị elu iji hụ na ngwaahịa dị mma.
▪ Nkà na ụzụ nhazi: A na-eji ịpị aka na-eme ihe iji hụ na njupụta ngwaahịa na ịdị n'otu.
▪ Nhazi nha nha: Enwere ike ịhazi ụgbọ mmiri eserese nke nha na ụdị dị iche iche dabere na mkpa ndị ahịa.
▪ Ọgwụgwọ n'elu: A na-enye ụzọ ọgwụgwọ elu dị iche iche, dị ka mkpuchi silicon carbide, boron nitride, wdg, iji mezuo usoro dị iche iche chọrọ.
