Ọrụ bụ isi nke nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide na nkwado ụgbọ mmiri quartz bụ otu. Nkwado ụgbọ mmiri Silicon carbide nwere ọmarịcha arụmọrụ mana ọnụ ahịa dị elu. Ọ mebere mmekọrịta ọzọ na nkwado ụgbọ mmiri quartz na akụrụngwa nhazi batrị nwere ọnọdụ arụ ọrụ siri ike (dịka akụrụngwa LPCVD na akụrụngwa mgbasa boron). N'ime akụrụngwa nhazi batrị nwere ọnọdụ ọrụ nkịtị, n'ihi mmekọrịta ọnụahịa, nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide na quartz na-aghọ otu ọnụ na ụdị asọmpi.
① Mmekọrịta ngbanwe na LPCVD na akụrụngwa mgbasa ozi boron
A na-eji akụrụngwa LPCVD maka oxidation cell cell tunneling yana usoro nkwadebe polysilicon oyi akwa doped. Ụkpụrụ ọrụ:
N'okpuru ikuku ikuku dị ala, jikọtara ya na okpomọkụ kwesịrị ekwesị, mmeghachi omume kemịkalụ na nhazi ihe nkiri na-enweta iji dozie oyi akwa oxide ultra-thinth tunneling na polysilicon film. Na tunneling oxidation na doped polysilicon Layer nkwadebe usoro, nkwado ụgbọ mmiri nwere okpomọkụ na-arụ ọrụ dị elu na a ga-edobe ihe nkiri silicon n'elu. Ọnụ ọgụgụ mgbasawanye ọkụ nke quartz dị nnọọ iche na nke silicon. Mgbe ejiri ya mee ihe na usoro dị n'elu, ọ dị mkpa ịkwanye mgbe niile iji wepụ silicon ahụ a na-etinye n'elu iji gbochie nkwado ụgbọ mmiri quartz ka ọ ghara imebi n'ihi mgbasawanye ọkụ na nkwekọrịta n'ihi ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị iche iche sitere na silicon. N'ihi pickling ugboro ugboro na obere okpomọkụ dị ala, onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz nwere ndụ dị mkpirikpi ma na-edochi ya anya na ọwara oxidation na doped polysilicon Layer usoro nkwadebe, nke na-abawanye ọnụ ahịa mmepụta nke cell batrị. Ọnụ ọgụgụ mgbasawanye nke silicon carbide dị nso na nke silicon. Na ọwara oxidation na doped polysilicon oyi akwa usoro, ihe integrated silicon carbide ụgbọ mmiri adịghị mkpa pickling, nwere elu okpomọkụ ike na ogologo ndụ ọrụ, na bụ ezigbo ọzọ na quartz ụgbọ mmiri.
A na-ejikarị akụrụngwa mgbasa ozi boron maka usoro nke doping boron element na ụdị N-ụdị silicon wafer nke cell batrị iji dozie ụdị P-emitter iji mepụta njikọ PN. Ụkpụrụ na-arụ ọrụ bụ ịghọta mmeghachi omume kemịkalụ na nhazi ihe nkiri ihe nkiri molekụla n'ime ikuku dị elu. Mgbe emechara ihe nkiri ahụ, enwere ike ịgbasa ya site na ikpo ọkụ dị elu iji ghọta ọrụ doping nke elu silicon wafer. N'ihi oke okpomọkụ na-arụ ọrụ nke ngwá ọrụ mgbasa ozi boron, onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz nwere obere okpomọkụ dị elu na ndụ dị mkpirikpi na ngwa mgbasawanye boron. Ihe njide ụgbọ mmiri silicon carbide agbakwunyere nwere oke okpomọkụ dị elu ma bụrụ ezigbo ihe ọzọ maka njide ụgbọ mmiri quartz na usoro mgbasawanye boron.
② Mmekọrịta ngbanwe na akụrụngwa usoro ndị ọzọ
Nkwado ụgbọ mmiri SiC nwere ikike nrụpụta siri ike yana arụmọrụ dị mma. Ọnụ ahịa ha na-adịkarị elu karịa nke nkwado ụgbọ mmiri quartz. N'ozuzu ọnọdụ ọrụ nke akụrụngwa nhazi cell, ọdịiche dị na ndụ ọrụ n'etiti nkwado ụgbọ mmiri SiC na nkwado ụgbọ mmiri quartz dị obere. Ndị ahịa n'okpuru ala na-atụnyere ma họrọ n'etiti ọnụahịa na arụmọrụ dabere na usoro na mkpa nke ha. Nkwado ụgbọ mmiri SiC na nkwado ụgbọ mmiri quartz aghọọla ọnụ na asọmpi. Agbanyeghị, oke uru oke nkwado ụgbọ mmiri SiC dị elu ugbu a. Na mbelata nke mmepụta ego nke ụgbọ mmiri SiC na-akwado, ọ bụrụ na ọnụahịa ire ere nke ụgbọ mmiri SiC na-akwado nke ọma, ọ ga-ebutekwa asọmpi ka ukwuu na nkwado ụgbọ mmiri quartz.
(2) Oke ojiji
Ụzọ teknụzụ cell bụ tumadi teknụzụ PERC na teknụzụ TOPCon. Oke ahịa nke teknụzụ PERC bụ 88%, na oke ahịa nke teknụzụ TOPCon bụ 8.3%. Njikọ ahịa nke abụọ bụ 96.30%.
Dị ka e gosiri na foto dị n'okpuru:
Na teknụzụ PERC, a chọrọ nkwado ụgbọ mmiri maka mgbasa ozi nke ihu na usoro mgbakasị ahụ. Na teknụzụ TOPCon, a chọrọ nkwado ụgbọ mmiri maka mgbasa boron n'ihu, LPCVD, mgbasa ozi azụ azụ na usoro mgbakasị ahụ. Ka ọ dị ugbu a, a na-ejikarị nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide na usoro LPCVD nke teknụzụ TOPCon, yana ngwa ha na usoro mgbasa ozi boron ka akwadoro nke ọma.
Ngwa ngwa nke ụgbọ mmiri na-akwado na usoro nhazi cell:
Rịba ama: Mgbe mkpuchi ihu na azụ nke teknụzụ PERC na TOPCon, a ka nwere usoro dịka mbipụta ihuenyo, nyocha na nyocha na nhazi, nke anaghị agụnye iji nkwado ụgbọ mmiri na-edepụtaghị ya na ọnụ ọgụgụ dị n'elu.
(3) Usoro mmepe n'ọdịnihu
N'ọdịnihu, n'okpuru mmetụta nke uru arụmọrụ zuru oke nke ụgbọ mmiri silicon carbide na-akwado, mgbasawanye nke ndị ahịa na-aga n'ihu na mbelata ọnụ ahịa na nkwalite arụmọrụ nke ụlọ ọrụ fotovoltaic, a na-atụ anya na ahịa ahịa nke silicon carbide ụgbọ mmiri na-akwado ga-abawanye n'ihu.
① Na mpaghara ọrụ nke LPCVD na akụrụngwa mgbasa ozi boron, arụmọrụ zuru oke nke nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide dị mma karịa nke quartz ma nwee ogologo ndụ ọrụ.
② Mgbasawanye ndị ahịa nke ndị na-emepụta ụgbọ mmiri silicon carbide nke ụlọ ọrụ na-anọchi anya dị mma. Ọtụtụ ndị ahịa na ụlọ ọrụ dịka North Huachuang, Songyu Technology na Qihao New Energy amalitela iji nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide.
③ Mbelata ọnụ ahịa na nkwalite arụmọrụ bụ mgbe niile ịchụso ụlọ ọrụ fotovoltaic. Ịchekwa ego site na nnukwu batrị batrị bụ otu n'ime ngosipụta nke mbelata ọnụ ahịa na nkwalite arụmọrụ na ụlọ ọrụ fotovoltaic. Site na usoro nke mkpụrụ ndụ batrị buru ibu, uru nke ụgbọ mmiri silicon carbide na-akwado n'ihi arụmọrụ ha zuru oke ga-apụta ìhè.
Oge nzipu: Nov-04-2024