N'ihu njedebe nke eriri mmepụta dị ka ịtọ ntọala na iwu mgbidi nke ụlọ. N'ichepụta semiconductor, ọkwa a gụnyere ịmepụta ihe ndị bụ isi na transistor na wafer silicon.
Nzọụkwụ ndị bụ isi nke FEOL:
1. Nhicha:Malite na obere silicon wafer ma hichaa ya iji wepụ adịghị ọcha ọ bụla.
2. Oxidation:Too oyi akwa silicon dioxide na wafer iji kewapụ akụkụ dị iche iche nke mgbawa ahụ.
3. Foto:Jiri fotolithography tinye ụkpụrụ na wafer, dị ka ọ na-eji ìhè see ụkpụrụ.
4. Etching:Wepụ silicon dioxide na-achọghị iji kpughee ụkpụrụ achọrọ.
5. Ime:Webata adịghị ọcha n'ime silicon ka ọ gbanwee akụrụngwa eletrik ya, na-emepụta transistor, ihe bụ isi ihe mgbawa nke mgbawa ọ bụla.
Ọkara njedebe nke ahịrị (MEOL): Ijikọ ntụpọ
N'etiti njedebe nke ahịrị mmepụta dị ka ịwụnye wiring na plumbing n'ime ụlọ. Ogbo a gbadoro anya n'ịmepụta njikọ n'etiti transistor emepụtara na ọkwa FEOL.
Nzọụkwụ ndị bụ isi nke MEOL:
1. Nkwado dielectric:Tinye akwa mkpuchi mkpuchi (nke a na-akpọ dielectrics) iji chebe transistor.
2. Nhazi kọntaktị:Mepụta kọntaktị iji jikọọ transistor na ibe ya na ụwa dị n'èzí.
3. Njikọta:Tinye akwa ọla iji mepụta ụzọ maka akara ọkụ eletrik, dị ka wiwi ụlọ iji hụ na ike na-enweghị nkebi na data na-aga.
Nkwụsị azụ nke ahịrị (BEOL): Mmecha mmecha
-
Azụ azụ nke ahịrị mmepụta ahụ dị ka ịgbakwunye mmetụ ikpeazụ na ụlọ-ịwụnye ihe ndozi, eserese, na ịhụ na ihe niile na-arụ ọrụ. N'ichepụta semiconductor, ọkwa a gụnyere ịgbakwunye ọkwa ikpeazụ na ịkwadebe mgbawa maka nkwakọ ngwaahịa.
Nzọụkwụ ndị bụ isi nke BEOL:
1. Ngwakọta ọla ndị ọzọ:Tinye ọtụtụ akwa igwe iji kwalite njikọta ọnụ, na-ahụ na mgbawa nwere ike ijikwa ọrụ dị mgbagwoju anya yana ọsọ dị elu.
2. Mmasị:Tinye akwa mkpuchi iji chebe mgbawa na mmebi gburugburu ebe obibi.
3. Nnwale:Dobe mgbawa ahụ ka ọ bụrụ nnwale siri ike iji hụ na ọ dabara nkọwapụta niile.
4. Ịkụ:Bee wafer ahụ n'ime ibe ọ bụla, nke ọ bụla dị njikere maka nkwakọ na iji ya na ngwaọrụ eletrọnịkị.
Oge nzipu: Jul-08-2024