Usoro nkwadebe nke nkịtị TaC mkpuchi akụkụ graphite

Akụkụ/1
Usoro CVD (Chemical Vapor Deposition) usoro:
Na 900-2300 ℃, na-eji TaCl₅na CnHm dị ka tantalum na carbon isi mmalite, H₂ dị ka mbenata ikuku, Ar₂as ụgbọelu gas, mmeghachi omume ntinye ihe nkiri. Ihe mkpuchi a kwadebere bụ kọmpat, otu na ịdị ọcha dị elu. Otú ọ dị, enwere ụfọdụ nsogbu dị ka usoro mgbagwoju anya, ọnụ ahịa dị oke ọnụ, njikwa ikuku siri ike na ntinye ntinye dị ala.
Akụkụ/2
Usoro slurry sintering:
A na-ekpuchi slurry nwere carbon, isi iyi tantalum, dispersant na ihe nkedo na graphite ma gbanye ya na okpomọkụ dị elu mgbe akpọnwụchara. Ihe mkpuchi a kwadebere na-eto eto na-enweghị ntụgharị mgbe niile, nwere ọnụ ala dị ala ma dị mma maka mmepụta nnukwu. Ọ na-anọgide na-enyocha ya iji nweta otu na mkpuchi zuru oke na nnukwu graphite, wepụ nkwado nkwado na ịkwalite ike mkpuchi mkpuchi.
Akụkụ/3
Usoro ịgbasa Plasma:
A na-agbaze ntụ ntụ TaC site na arc plasma n'ogo dị elu, na-agbaze ya n'ime mmiri ọkụ dị elu site na jet dị elu, ma fesa n'elu ihe graphite. Ọ dị mfe ịmepụta oyi akwa oxide n'okpuru enweghị agụụ, na ike oriri dị ukwuu.

 

Onyonyo . Tray wafer ka ejiri ya na ngwaọrụ MOCVD nke GaN epitaxial toro (Veeco P75). A na-ekpuchi nke dị n'aka ekpe na TaC na nke dị n'aka nri ka ejiri SiC kpuchie ya.

TaC kpuchieEkwesịrị idozi akụkụ graphite

Akụkụ/1
Ike njide:
Ọnụ ọgụgụ mgbasawanye nke thermal na ihe ndị ọzọ anụ ahụ dị n'etiti TaC na carbon carbon dị iche iche, ike mkpuchi mkpuchi dị ala, ọ na-esiri ike izere mgbawa, pores na nrụgide okpomọkụ, na mkpuchi dị mfe ịpụpụ na ikuku n'ezie nwere ire ere na. usoro ịrị elu na nke jụrụ oyi ugboro ugboro.
Akụkụ/2
Ịdị ọcha:
Mkpuchi TaCkwesịrị ịdị ọcha nke ukwuu iji zere ihe ndị na-adịghị ọcha na mmetọ n'okpuru ọnọdụ okpomọkụ dị elu, yana ụkpụrụ ọdịnaya dị irè na ụkpụrụ njirimara nke carbon free na adịghị arụ ọrụ dị n'elu na n'ime mkpuchi zuru oke kwesịrị ikwenye.
Akụkụ/3
Nkwụsi ike:
Akwa okpomọkụ na-eguzogide na chemical ikuku na-eguzogide n'elu 2300 ℃ bụ ndị kasị mkpa egosi iji nwalee nkwụsi ike nke mkpuchi. Pinholes, mgbawa, nkuku na-efu efu, na otu oke ọka ntụzịaka dị mfe ime ka ikuku ndị na-emebi emebi banye ma banye na graphite, na-ebute ọdịda mkpuchi mkpuchi.
Akụkụ/4
Nguzogide Oxidation:
TaC na-amalite oxidize na Ta2O5 mgbe ọ dị n'elu 500 ℃, na oxidation ọnụego na-abawanye sharply na-abawanye nke okpomọkụ na oxygen ịta. N'elu oxidation na-amalite site na oke ọka na obere ọka, ma jiri nwayọọ nwayọọ na-emepụta kristal columnar na kristal gbajiri agbaji, na-eme ka ọnụ ọgụgụ dị ukwuu nke oghere na oghere, na ntinye ikuku oxygen na-abawanye ruo mgbe a na-ewepụ ihe mkpuchi ahụ. Ihe oyi akwa oxide na-esi na ya pụta nwere adịghị mma thermal conductivity na agba dị iche iche n'ọdịdị.
Akụkụ/5
Ịdị n'otu na adịghị ike:
Nkesa na-enweghị isi nke mkpuchi mkpuchi nwere ike iduga n'ịgbasa nrụgide okpomọkụ nke mpaghara, na-abawanye ohere nke mgbawa na spalling. Tụkwasị na nke ahụ, nhụsianya elu na-emetụta kpọmkwem mmekọrịta dị n'etiti mkpuchi na gburugburu ebe dị n'èzí, na oke siri ike dị mfe na-eduga n'ịbawanye esemokwu na wafer na ebe okpomọkụ na-enweghị isi.
Akụkụ/6
Nha ọka:
Ụdị ọka na-edozi ahụ na-enyere aka nkwụsi ike nke mkpuchi ahụ. Ọ bụrụ na nha ọka dị ntakịrị, njikọ ahụ adịghị ike, ọ dịkwa mfe oxidized na corroded, na-eme ka ọnụ ọgụgụ buru ibu na oghere dị n'ọnụ ọnụ ọka, nke na-ebelata ọrụ nchebe nke mkpuchi. Ọ bụrụ na nha ọka ahụ buru ibu, ọ dị ntakịrị ihe siri ike, mkpuchi ahụ dịkwa mfe ịgbapụ n'okpuru nrụgide okpomọkụ.