Usoro nrụpụta Semiconductor - Teknụzụ Etch

A chọrọ ọtụtụ narị usoro iji tụgharịa awafern'ime semiconductor. Otu n'ime usoro kachasị mkpa bụetching- ya bụ, na-akpụ ezi sekit ụkpụrụ nawafer. Ihe ịga nke ọma nkeetchingUsoro dabere na ijikwa mgbanwe dị iche iche n'ime oke nkesa setịpụrụ, yana akụrụngwa etching ọ bụla ga-adị njikere ịrụ ọrụ n'okpuru ọnọdụ kacha mma. Ndị injinia usoro etching anyị na-eji teknụzụ nrụpụta ọmarịcha iji mezue usoro a zuru ezu.
SK Hynix News Center gbara ndị otu Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch na End Etch ajụjụ ọnụ ka ha mụtakwuo maka ọrụ ha.
Etch: Njem na-aga n'ihu na-arụpụta ihe
N'ichepụta semiconductor, etching na-ezo aka n'ụdị ihe osise na fim ndị dị mkpa. A na-efesa ụkpụrụ ahụ site na iji plasma iji mepụta ndepụta ikpeazụ nke usoro usoro ọ bụla. Nzube ya bụ isi bụ iwepụta usoro ziri ezi dịka nhazi ya si dị ma nọgide na-enwe nsonaazụ otu n'okpuru ọnọdụ niile.
Ọ bụrụ na nsogbu emee na ntinye ma ọ bụ usoro fotolithography, enwere ike idozi ha site na teknụzụ nhọrọ etching (Etch). Otú ọ dị, ọ bụrụ na ihe na-ezighị ezi n'oge usoro etching, ọnọdụ ahụ enweghị ike ịgbanwe. Nke a bụ n'ihi na enweghị ike ijupụta otu ihe ahụ na mpaghara a kanyere. Ya mere, na usoro mmepụta nke semiconductor, etching dị oké mkpa iji chọpụta mkpokọta mkpụrụ na àgwà ngwaahịa.

Usoro etching gụnyere usoro asatọ: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN na MLM.
Nke mbụ, ISO (iche) ogbo etches (Etch) silicon (Si) na wafer iji mepụta mpaghara cell na-arụ ọrụ. Ogbo BG (Buried Gate) na-etolite ahịrị adreesị ahịrị (Akara Okwu) 1 yana ọnụ ụzọ iji mepụta ọwa eletrọnịkị. Na-esote, ọkwa BLC (Bit Line Contact) na-emepụta njikọ dị n'etiti ISO na ahịrị adreesị kọlụm (Bit Line) 2 na mpaghara cell. Ebe GBL (Peri Gate+Cell Bit Line) ga-emepụta ahịrị adreesị kọlụm cell na ọnụ ụzọ dị na mpụta 3 n'otu oge.
SNC (Nkwekọrịta Node Nkwekọrịta) na-aga n'ihu na-eme ka njikọ dị n'etiti ebe a na-arụ ọrụ na ebe nchekwa 4. N'ikpeazụ, ọkwa M0 (Metal0) na-emepụta isi njikọ nke S / D (Nkwakọba Nchekwa) 5 na njikọ njikọ. n'etiti ahịrị adreesị kọlụm na ọnụ nchekwa. Ogbo SN (Nchekwa Node) na-akwado ikike otu, yana MLM (Multi Layer Metal) na-esote ya na-emepụta ike mpụga na wiring ime, na usoro injinia dum etching (Etch) agwụla.

Nyere na ndị ọkachamara etching (Etch) na-ahụ maka nhazi nke semiconductor, ngalaba DRAM na-ekewa n'ime otu atọ: Front Etch (ISO, BG, BLC); Middle Etch (GBL, SNC, M0); Ọgwụgwụ Etch (SN, MLM). A na-ekewakwa otu ndị a dịka ọkwa nrụpụta na ọnọdụ akụrụngwa si dị.
Ọkwa nrụpụta bụ maka ijikwa na melite usoro mmepụta otu. Ọkwa nrụpụta na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịkwalite mkpụrụ na ogo ngwaahịa site na njikwa mgbanwe yana usoro njikarịcha mmepụta ihe ndị ọzọ.
Ọnọdụ akụrụngwa na-ahụ maka ijikwa ma wusie akụrụngwa mmepụta ike iji zere nsogbu ndị nwere ike ime n'oge usoro etching. Ọrụ bụ isi nke ọnọdụ akụrụngwa bụ iji hụ na arụ ọrụ akụrụngwa kachasị mma.
Ọ bụ ezie na ọrụ ndị ahụ doro anya, ndị otu niile na-arụ ọrụ maka otu ihe mgbaru ọsọ - ya bụ, ijikwa ma melite usoro mmepụta na ngwá ọrụ ndị metụtara ya iji meziwanye mmepụta ihe. Iji mezuo nke a, otu ọ bụla na-arụsi ọrụ ike na-ekerịta ihe ha rụpụtara na mpaghara maka imeziwanye, ma na-arụkọ ọrụ iji melite arụmọrụ azụmahịa.
Otu esi emeri ihe ịma aka nke teknụzụ miniaturization

SK Hynix bidoro imepụta oke ngwaahịa 8Gb LPDDR4 DRAM maka usoro klaasị 10nm (1a) na Julaị 2021.

Usoro sekit ebe nchekwa Semiconductor abanyela n'oge 10nm, ma emeziwanye ya, otu DRAM nwere ike ịnabata ihe dịka sel 10,000. Ya mere, ọbụlagodi na usoro etching, oke usoro ezughị oke.
Ọ bụrụ na oghere kpụrụ (Oghere) 6 dị ntakịrị, ọ nwere ike ịpụta "emegheghị" ma gbochie akụkụ ala nke mgbawa ahụ. Tụkwasị na nke ahụ, ọ bụrụ na oghere a kpụrụ dị ukwuu, "njikọ" nwere ike ime. Mgbe oghere dị n'etiti oghere abụọ ezughị oke, "njikọ" na-eme, na-ebute nsogbu nchikota ọnụ na usoro ndị na-esote. Ka semiconductor na-aghọwanye nke a nụchara anụcha, ọnụ ọgụgụ nke ọnụ ọgụgụ oghere na-eji nwayọọ nwayọọ na-ebelata, a ga-eji nwayọọ nwayọọ wepụ ihe ize ndụ ndị a.
Iji dozie nsogbu ndị a dị n'elu, ndị ọkachamara na-ahụ maka nkà na ụzụ na-aga n'ihu na-emeziwanye usoro ahụ, gụnyere imezi usoro nhazi usoro na APC7 algọridim, na iwebata teknụzụ etching ọhụrụ dị ka ADCC8 na LSR9.
Ka mkpa ndị ahịa na-adịwanye iche, ihe ịma aka ọzọ apụtala - usoro nke mmepụta ọtụtụ ngwaahịa. Iji gboo mkpa ndị ahịa dị otú ahụ, ọ dị mkpa ka edobe ọnọdụ usoro kachasị maka ngwaahịa ọ bụla iche iche. Nke a bụ ihe ịma aka pụrụ iche maka ndị injinia n'ihi na ọ dị ha mkpa ime ka teknụzụ mmepụta oke na-egbo mkpa nke ma ọnọdụ ntọala na ọnọdụ dịgasị iche iche.
Iji mezuo nke a, Etch injinia webatara "APC offset" 10 technology iji jikwaa dị iche iche ewepụtara dabere na isi ngwaahịa (isi ngwaahịa), na guzobe na-eji "T-index sistemu" na comprehensively jikwaa dị iche iche ngwaahịa. Site na mbọ ndị a, a na-emeziwanye usoro ahụ mgbe niile iji gboo mkpa nke mmepụta ọtụtụ ngwaahịa.