Usoro uto kristal dị n'obi imepụta semiconductor, ebe mmepụta nke wafers dị elu dị oke mkpa. Otu ihe dị mkpa na usoro ndị a bụụgbọ mmiri silicon carbide (SiC).. Ụgbọ mmiri SiC wafer enwetala nkwanye ùgwù dị ukwuu na ụlọ ọrụ ahụ n'ihi arụmọrụ pụrụ iche na ntụkwasị obi ha. N'isiokwu a, anyị ga-enyocha njirimara dị ịrịba ama nkeỤgbọ mmiri wafer SiCna ọrụ ha n'ịkwado uto kristal na nrụpụta semiconductor.
Ụgbọ mmiri wafer SiCemebere ya ka ọ jide na ibugharị wafers semiconductor n'oge ọkwa dị iche iche nke uto kristal. Dị ka ihe onwunwe, silicon carbide na-enye ngwakọta pụrụ iche nke ihe ndị a na-achọsi ike na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ dị mma maka ụgbọ mmiri wafer. Nke mbụ bụ ike ọrụ ya pụtara ìhè na nkwụsi ike dị elu. SiC na-anya isi ike na isi ike, na-enye ya ohere iguzogide ọnọdụ dị oke egwu zutere n'oge usoro uto kristal.
Otu isi uru nkeỤgbọ mmiri wafer SiCbụ ha ahụkebe thermal conductivity. Mgbasa ọkụ bụ ihe dị mkpa na-eto eto kristal, ebe ọ na-emetụta ọdịdị okpomọkụ ma na-egbochi nrụgide okpomọkụ na wafers. Igwe ọkụ dị elu nke SiC na-eme ka nnyefe ọkụ dị mma, na-ahụ na nkesa okpomọkụ na-agbanwe agbanwe n'ofe wafers. Njirimara a bara uru karịsịa na usoro dị ka uto epitaxial, ebe njikwa okpomọkụ dị mkpa maka ịnweta ntinye ihe nkiri otu.
Ọzọkwa,Ụgbọ mmiri wafer SiCna-egosipụta ezigbo kemịkalụ inertness. Ha na-eguzogide ọtụtụ kemịkalụ na-emebi emebi na gas ndị a na-ejikarị na-emepụta semiconductor. Nkwụsi ike kemịkalụ a na-eme ka nke ahụ pụta ìhèỤgbọ mmiri wafer SiCnọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe na arụmọrụ ha n'elu ogologo ogologo oge na gburugburu usoro siri ike. iguzogide ọgụ kemịkalụ na-egbochi mmetọ na mmebi ihe, na-echekwa ogo nke wafers na-eto eto.
Nkwụsi ike akụkụ nke ụgbọ mmiri wafer SiC bụ akụkụ ọzọ kwesịrị ịrịba ama. Emebere ha ka ha nọgide na-enwe ọdịdị ha ma na-etolite ọbụna n'okpuru okpomọkụ dị elu, na-eme ka ọnọdụ ziri ezi nke wafers n'oge uto kristal. Nkwụsi ike nke akụkụ ahụ na-ebelata nrụrụ ọ bụla ma ọ bụ ịgbagha nke ụgbọ mmiri ahụ, nke nwere ike iduga ngbanwe na-adịghị mma ma ọ bụ uto na-enweghị ụdị n'ofe wafers. Ndokwa a ziri ezi dị oke mkpa maka inweta ntuziaka crystallographic chọrọ na ịdị n'otu n'ime ihe semiconductor na-esi na ya pụta.
Ụgbọ mmiri SiC wafer na-enyekwa ezigbo ọkụ eletrik. Silicon carbide bụ ihe semiconductor n'onwe ya, nke ejiri ogologo bandgap ya na oke mgbawa voltaji mara. Njirimara eletriki nke SiC na-eme ka ọ dị ntakịrị ntanye ọkụ eletrik na nnyonye anya n'oge usoro uto kristal. Nke a dị mkpa karịsịa mgbe ị na-eto ngwa ngwa ike dị elu ma ọ bụ na-arụ ọrụ na ụlọ eletrọnịkị nwere mmetụta, ebe ọ na-enyere aka ịnọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe nke ihe semiconductor a na-emepụta.
Na mgbakwunye, ụgbọ mmiri wafer SiC mara maka ogologo ndụ ha na ijikwa ya. Ha nwere ogologo ndụ ọrụ ogologo oge, nwere ike ịtachi obi ọtụtụ usoro uto kristal na-enweghị mmebi dị ukwuu. Ogologo oge a na-asụgharị n'ime ọnụ ahịa ọnụ ahịa ma na-ebelata mkpa maka ngbanwe ugboro ugboro. Mweghachi nke ụgbọ mmiri wafer SiC abụghị naanị na-enye aka na omume nrụpụta na-adigide kamakwa na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi na-agbanwe agbanwe na usoro uto kristal.
Na mmechi, ụgbọ mmiri wafer SiC abụrụla ihe dị mkpa na uto kristal maka nrụpụta semiconductor. Ha pụrụ iche n'ibu ike, elu okpomọkụ kwụsie ike, thermal conductivity, kemịkalụ inertness, akụkụ kwụsie ike, na eletriki Njirimara na-eme ka ha na-achọsi ike nke ukwuu n'ikwado kristal eto usoro. Ụgbọ mmiri SiC wafer na-ahụ maka nkesa otu ọnọdụ okpomọkụ, gbochie mmetọ, ma mee ka ọnọdụ wafer ziri ezi, n'ikpeazụ na-eduga na mmepụta nke ihe semiconductor dị elu. Ka ọchịchọ maka ngwaọrụ semiconductor dị elu na-aga n'ihu na-arị elu, mkpa ụgbọ mmiri SiC wafer na-enweta ezigbo uto kristal enweghị ike ikwubiga ya ókè.
Oge nzipu: Eprel-08-2024