Akụkọ - Mmetọ elu Wafer na ụzọ nchọpụta ya

Ịdị ọcha nkewafer eluga-emetụta oke ntozu nke usoro na ngwaahịa semiconductor na-esote. Ihe ruru 50% nke mfu mkpụrụ niile na-akpatawafer elummetọ.

Ihe ndị nwere ike ime mgbanwe na-achịkwaghị achịkwa na arụmọrụ eletriki nke ngwaọrụ ma ọ bụ usoro nrụpụta ngwaọrụ ka a na-akpọkọta ọnụ dị ka ihe mmetọ. Ihe mmetọ nwere ike isi na wafer n'onwe ya, ụlọ dị ọcha, ngwaọrụ nhazi, kemịkalụ nhazi ma ọ bụ mmiri.WaferEnwere ike ịchọpụta mmetọ n'ozuzu site na nlele anya, nyocha usoro, ma ọ bụ iji ngwa nyocha dị mgbagwoju anya na ule ngwaọrụ ikpeazụ.

▲ Mmetọ n'elu silicon wafers | Netwọk isi iyi onyonyo

Enwere ike iji nsonaazụ nyocha nke mmetọ gosipụtara ogo na ụdị mmetọ ahụ zuterewaferna usoro ụfọdụ, otu igwe ma ọ bụ usoro dum. Dị ka nhazi nke ụzọ nchọpụta si dị.wafer eluenwere ike kewaa mmetọ n'ụdị ndị a.

Mgbasa igwe

Mmetọ nke ọla na-ebute nwere ike ibute ntụpọ ngwaọrụ semiconductor nke ogo dị iche iche.
Alkali ọla ma ọ bụ alkaline ụwa ọla (Li, Na, K, Ca, mg, Ba, wdg) nwere ike ime ka ntapu ugbu a na pn Ọdịdị, nke n'aka nke na-eduga ná mmebi voltaji nke oxide; ígwè mgbanwe na ígwè dị arọ (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, wdg) mmetọ nwere ike ibelata usoro ndụ nke onye na-ebu ya, belata ndụ ọrụ nke akụkụ ahụ ma ọ bụ mee ka ọchịchịrị dị ugbu a na-arụ ọrụ.

Ụzọ ndị a na-ahụkarị maka ịchọpụta mmetọ ígwè bụ nleba anya X-ray fluorescence, atom absorption spectroscopy na inductively jikọtara plasma mass spectrometry (ICP-MS).

v Wafer n'elu mmetọ | ResearchGate

Mmetọ ọla nwere ike sitere na reagents ndị a na-eji ihicha, etching, lithography, deposition, wdg, ma ọ bụ site na igwe eji eme ya, dị ka oven, reactors, ntinye ion, wdg, ma ọ bụ ọ nwere ike bute ya site na ijikwa wafer na-akpachapụghị anya.

Mmetọ urughuru

A na-ahụkarị nkwụnye ego n'ezie site n'ịchọpụta ìhè gbasasịrị site na ntụpọ elu. Ya mere, aha sayensị kacha zie ezie maka mmetọ ahụ bụ ntụpọ ntụpọ. Mmetu ahụ nwere ike ịkpata mgbochi ma ọ bụ nkpuchi mmetụta na usoro etching na lithography.

N'oge uto ma ọ bụ ntinye ihe nkiri, a na-emepụta pinholes na microvoids, ma ọ bụrụ na ihe ndị ahụ buru ibu ma na-eduzi, ha nwere ike ime ka obere sekit.

▲ Nhazi nke urughuru mmetọ | Netwọk isi iyi onyonyo

Obere mmerụ ahụ nwere ike ime ka onyinyo dị n'elu, dịka n'oge fotolithography. Ọ bụrụ na nnukwu ihe dị n'etiti fotomask na oyi akwa photoresist, ha nwere ike ibelata mkpebi nke ikpughe kọntaktị.

Na mgbakwunye, ha nwere ike igbochi ion accelerated n'oge ntinye ion ma ọ bụ etching akọrọ. Enwere ike iji ihe nkiri mechie ihe ndị ahụ, nke mere na enwere mkpọmkpọ na ọnya. Nkwakọba echekwabara na-esote nwere ike ịgbawa ma ọ bụ guzogide mkpokọta na ebe ndị a, na-ebute nsogbu n'oge mkpughe.

Organic mmetọ

A na-akpọ mmetọ ndị nwere carbon, yana ihe njikọ jikọtara ya na C, nke a na-akpọ mmetọ organic. Ihe ndị na-emerụ emerụ nwere ike ịkpata mmetụta hydrophobic na-atụghị anya ya na yawafer elu, na-amụba ịdị nro n'elu, na-emepụta elu na-ekpo ọkụ, na-akpaghasị uto oyi akwa epitaxial, ma na-emetụta mmetụta nhicha nke mmetọ ígwè ma ọ bụrụ na ebughị ụzọ wepụ ihe ndị na-emerụ ahụ.

A na-achọpụtakarị mmetọ elu dị otú ahụ site na ngwa dịka thermal desorption MS, X-ray photoelectron spectroscopy na Auger eletrọn spectroscopy.

▲ Isi iyi netwọk

Gaseous mmetọ na mmiri mmetọ

A naghị ewepụ molecule ikuku na mmetọ mmiri nwere nha molekul site na ikuku nkịtị dị elu dị elu (HEPA) ma ọ bụ ihe nzacha ikuku dị ala (ULPA). A na-enyochakarị mmetọ dị otú ahụ site na ion mass spectrometry na capillary electrophoresis.

Ụfọdụ mmetọ nwere ike ịbụ n'ọtụtụ edemede, dịka ọmụmaatụ, ihe nwere ike ịbụ ihe organic ma ọ bụ ọla, ma ọ bụ ha abụọ, yabụ enwere ike kewaa ụdị mmetọ a dị ka ụdị ndị ọzọ.

▲Gaseous molecular contaminants | IONICON

Na mgbakwunye, enwere ike ịkewa mmetọ wafer dị ka mmetọ ụmụ irighiri ihe, mmetọ irighiri ihe, na mmetọ ihe nke sitere na usoro dịka oke isi mmalite mmetọ ahụ siri dị. Obere nha nke ihe mmetọ ahụ, ka ọ na-esikwu ike iwepụ. N'ichepụta akụrụngwa eletrọnịkị nke oge a, usoro nhicha wafer bụ 30% - 40% nke usoro mmepụta niile.