Kedu usoro maka polishing wafer?

N'ime usoro niile a na-etinye na ịmepụta mgbawa, njedebe ikpeazụ nkewafera ga-egbutu ya n'otu n'otu n'otu n'otu ma tinye ya n'ime obere igbe ndị kpuchiri ekpuchi nke nwere naanị ntụtụ ole na ole ekpughere. A ga-enyocha mgbawa ahụ dabere na ọnụ ụzọ ya, nguzogide ya, ugbu a na ụkpụrụ voltaji, mana ọ nweghị onye ga-atụle ọdịdị ya. N'oge usoro mmepụta ihe, anyị na-ehichapụ wafer ugboro ugboro iji nweta atụmatụ dị mkpa, karịsịa maka nzọụkwụ fotolithography ọ bụla. Nkewaferelu ga-adị nnọọ larịị n'ihi na, dị ka mgbawa n'ichepụta usoro na-ebelata, oghere nke fotolithography igwe kwesịrị na-nanometer-scale mkpebi site na ịba ụba onuogugu (NA) nke lens. Agbanyeghị, nke a n'otu oge na-ebelata omimi nke elekwasị anya (DoF). Ihe omimi nke elekwasị anya na-ezo aka na omimi nke usoro anya nwere ike ịnọgide na-elekwasị anya. Iji hụ na foto fotolithography na-anọgide na-edo anya ma na-elekwasị anya, ọdịiche dị n'elu nkewaferga-adaba n'ime omimi nke elekwasị anya.

N'okwu dị mfe, igwe fotolithography na-achụ ikike ilekwasị anya iji melite izizi onyonyo. Dịka ọmụmaatụ, igwe igwe fotolithography nke ọgbọ ọhụrụ nke EUV nwere oghere ọnụọgụ nke 0.55, mana omimi nke kwụ ọtọ bụ naanị 45 nanometers, yana oke onyonyo kacha mma n'oge fotolithography. Ọ bụrụ nawaferadịghị ewepụghị, nwere oke na-enweghị isi, ma ọ bụ ihe ndị dị n'elu, ọ ga-ebute nsogbu n'oge fotolithography na ebe dị elu na nke dị ala.

Photolithography abụghị naanị usoro chọrọ nke ọmawaferelu. Ọtụtụ usoro nrụpụta mgbawa ndị ọzọ na-achọkwa polishing wafer. Dịka ọmụmaatụ, mgbe etching mmiri gasịrị, a chọrọ polishing iji mee ka elu ahụ dị njọ maka mkpuchi na ntinye na-esote. Mgbe mwepu nke trenchi na-emighị emi (STI), achọrọ polishing iji mee ka silicon dioxide dị nro dị nro ma mezue ndochi trenchi ahụ. Mgbe ntinye ígwè gasịrị, a chọrọ polishing iji wepụ n'ígwé metal karịrị akarị ma gbochie obere sekit ngwaọrụ.

Ya mere, ọmụmụ nke mgbawa na-agụnye ọtụtụ usoro na-egbuke egbuke iji belata ịdị nro nke wafer na ọdịiche dị n'elu yana iwepụ ihe karịrị ihe n'elu. Na mgbakwunye, ntụpọ dị n'elu kpatara nsogbu usoro dị iche iche na wafer na-apụtakarị naanị mgbe usoro nchacha nke ọ bụla gasịrị. N'ihi ya, ndị injinia na-ahụ maka ime polishing nwere nnukwu ọrụ. Ha bụ ọnụ ọgụgụ etiti na usoro nrụpụta mgbawa ma na-ebukarị ụta na nzukọ mmepụta. Ha ga-abụ ndị ọkachamara na ma mmiri etching na mmepụta anụ ahụ, dị ka usoro isi polishing n'ichepụta mgbawa.

Gịnị bụ ụzọ polishing wafer?

Enwere ike kewaa usoro nchacha n'ụdị atọ dị mkpa dabere na ụkpụrụ mmekọrịta dị n'etiti mmiri na-egbuke egbuke na elu silicon wafer:

1. Ụzọ ihicha igwe:
Nchacha igwe na-ewepụ mpụta elu nke elu a na-egbu maramara site na ịkpụ na nrụrụ rọba iji nweta elu dị larịị. Ngwa ndị a na-ahụkarị gụnyere okwute mmanụ, wiil ajị anụ, na akwụkwọ aja, nke ejiri aka rụọ ya. Akụkụ pụrụ iche, dị ka elu nke ahụ na-agbagharị agbagharị, nwere ike iji ihe ntụgharị na ngwa enyemaka ndị ọzọ. Maka elu ndị nwere oke chọrọ, enwere ike iji ụzọ polishing mara mma. Nchacha nke ọma na-eji ngwa abrasive emebere nke ọma, nke, n'ime mmiri mmiri na-ekpochapụ nke nwere abrasive, na-apịagide ya n'elu ihe arụ ọrụ ma na-agbagharị n'ọsọ dị elu. Usoro a nwere ike nweta oke ala nke Ra0.008μm, nke kachasị elu n'etiti ụzọ polishing niile. A na-ejikarị usoro a eme ihe maka oghere oghere anya.

2. Usoro nchacha kemịkalụ:
Nchacha kemịkalụ na-agụnye mgbasa ọkachamma nke micro-protrusions n'elu ihe dị na igwe kemịkal, na-ebute elu dị larịị. Uru ndị bụ isi nke usoro a bụ enweghị mkpa maka akụrụngwa dị mgbagwoju anya, ikike ịmegharị ihe eji arụ ọrụ dị mgbagwoju anya, yana ikike ịmegharị ọtụtụ workpieces n'otu oge na arụmọrụ dị elu. Isi okwu nke polishing kemịkal bụ nhazi nke mmiri mmiri na-egbuke egbuke. Ọdịdị elu nke a na-enweta site na nchacha kemịkal na-abụkarị ọtụtụ iri iri nke micrometers.

3. Usoro ihe eji eme ihe eji eme ihe (CMP):
Nke ọ bụla n'ime ụzọ abụọ mbụ polishing nwere uru pụrụ iche. Ijikọta ụzọ abụọ a nwere ike nweta mmetụta nkwado na usoro ahụ. Chemical n'ibu polishing na-agwakọta n'ibu esemokwu na chemical corrosion Filiks. N'oge CMP, kemịkalụ reagents n'ime mmiri na-egbuke egbuke na-eme ka ihe ndị a na-egbu maramara na-eme ka oyi akwa oxide dị nro. A na-ewepụ oyi akwa oxide a site na mgbakasị ahụ. Ịmeghachi usoro oxidation na n'ibu ọrụ na-enweta polishing dị irè.

Ihe ịma aka na nsogbu dị ugbu a na Polishing Mechanical Mechanical (CMP):

CMP na-eche ọtụtụ ihe ịma aka na nsogbu ihu na mpaghara teknụzụ, akụnụba, na nkwado gburugburu ebe obibi:

1) Usoro na-agbanwe agbanwe: Ị nweta nkwụsi ike dị elu na usoro CMP na-anọgide na-esiri ike. Ọbụlagodi n'ime otu ahịrị mmepụta ahụ, obere mgbanwe dị na paramita usoro n'etiti batches ma ọ bụ akụrụngwa dị iche iche nwere ike imetụta ịdịgide nke ngwaahịa ikpeazụ.

2) Nkwekọrịta na ihe ọhụrụ: Dị ka ihe ọhụrụ na-aga n'ihu na-apụta, nkà na ụzụ CMP ga-emegharị na njirimara ha. Ụfọdụ ihe ndị dị elu nwere ike ọ gaghị adaba na usoro CMP omenala, na-achọ ka ịmepụta mmiri na-egbuke egbuke na abrasives ndị ọzọ nwere ike ime mgbanwe.

3) Mmetụta nha: Dị ka akụkụ ngwaọrụ semiconductor na-aga n'ihu na-ebelata, okwu ndị sitere na nha nha na-eme ka ọ dịkwuo mkpa. Akụkụ ndị pere mpe chọrọ ịdị elu elu elu, na-achọ usoro CMP nke ọma karịa.

4) Njikwa ọnụego mwepụ ihe onwunwe: N'ụfọdụ ngwa, njikwa ziri ezi nke ọnụego mwepụ ihe maka ihe dị iche iche dị oke mkpa. Ịhụ na ọnụego mwepụ na-agbanwe agbanwe gafee ọkwa dị iche iche n'oge CMP dị mkpa maka ịmepụta ngwaọrụ dị elu.

5) Enyi na gburugburu ebe obibi: Mmiri na-egbuke egbuke na abrasives ejiri na CMP nwere ike ịnwe ihe ndị na-emerụ gburugburu ebe obibi. Nnyocha na mmepe nke usoro na ihe CMP na-adịte aka na gburugburu ebe obibi bụ ihe ịma aka dị mkpa.

6) ọgụgụ isi na akpaaka: Ọ bụ ezie na ọgụgụ isi na ọkwa akpaaka nke sistemụ CMP na-eji nwayọ na-akawanye mma, ha ka ga-anagide gburugburu ebe nrụpụta dị mgbagwoju anya na agbanwe agbanwe. Inweta ọkwa dị elu nke akpaaka na nleba anya nwere ọgụgụ isi iji melite nrụpụta mmepụta bụ ihe ịma aka nke kwesịrị ileba anya.

7) Njikwa ọnụ ahịa: CMP gụnyere akụrụngwa dị elu na ụgwọ ihe. Ndị na-emepụta ihe kwesịrị imeziwanye arụmọrụ usoro ka ha na-agbalịsi ike ibelata ọnụ ahịa mmepụta iji nọgide na-asọmpi ahịa.