Ụlọ ọrụ semiconductor na-adabere na akụrụngwa pụrụ iche iji mepụta ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu. Otu ihe dị mkpa dị otú ahụ na usoro uto epitaxial bụ onye na-ebu epi pan. Ngwá ọrụ a na-arụ ọrụ dị mkpa na ntinye nke epitaxial layers na semiconductor wafers, na-eme ka ịdị n'otu na ịdị mma nke ngwaahịa ikpeazụ.
Ihe na-ebu epi pan, nke a makwaara dị ka ihe na-ebu pan epitaxy, bụ tray emebere nke ọma nke ejiri na usoro uto epitaxial. Ọ na-ejide ma na-akwado wafers semiconductor n'oge ntinye nke akwa epitaxial. A na-emepụta ndị na-ebu ndị a ka ha nagide okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe obibi rụrụ arụ nke a na-ahụkarị nke usoro epitaxial, na-enye ikpo okwu kwụsiri ike maka uto nke otu-crystal layers.
Akụrụngwa na Mwube:
A na-emekarị ndị na-ebu Epi pan site na ihe ndị nwere ike idi oke okpomọkụ ma na-eguzogide mmeghachi omume kemịkal. Ihe ndị a na-ahụkarị gụnyere:
•Silicon Carbide (SiC): Amara maka ịdị elu nke okpomọkụ dị elu na iguzogide iyi na oxidation, SiC bụ nhọrọ na-ewu ewu maka ndị na-ebu epi pan.
• Graphite: A na-ejikarị ya eme ihe n'ihi njirimara okpomọkụ ya dị mma na ikike iji nọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe na okpomọkụ dị elu. A na-eji SiC ekpuchikarị ndị na-ebu graphite iji kwalite ịdịte aka na iguzogide corrosion ha.
Ọrụ na Usoro Uto Epitaxial:
Usoro uto epitaxial na-agụnye ntinye nke obere oyi akwa nke ihe kristal na mkpụrụ ma ọ bụ wafer. Usoro a dị oke mkpa n'ịmepụta ngwaọrụ semiconductor nwere ezigbo ọkụ eletrik. Onye na-ebu epi pan na-akwado wafer na ụlọ mmeghachi omume ma hụ na ọ kwụsiri ike n'oge usoro nkwụnye ego.
Ọrụ ndị dị mkpa nke ndị na-ebu epi pan gụnyere:
• Nkesa Okpomọkụ Uniform: Onye na-ebu ya na-eme ka ọ bụrụ nkesa okpomọkụ n'ofe wafer, nke dị mkpa maka ịnweta ọkpụrụkpụ epitaxial oyi akwa na ịdị mma.
• Kemịkalụ kemịkalụ: Site n'inye elu kwụsiri ike na nke na-adịghị, onye na-ebu ya na-egbochi mmeghachi omume kemịkalụ achọghị nke nwere ike imebi ogo nke oyi akwa epitaxial.
Uru nke High-QualityNdị na-ebu Epi Pan:
• Arụmọrụ ngwaọrụ emelitere: akwa epitaxial Uniform na-enye aka na arụmọrụ dị elu nke ngwaọrụ semiconductor, na-ebute arụmọrụ na ntụkwasị obi ka mma.
• Mmụba Mmụba: Site na ibelata ntụpọ yana hụ na ntinye akwa oyi akwa, ndị na-ebu oke mma na-eme ka mkpụrụ nke wafers semiconductor na-arụ ọrụ.
• Mbelata ụgwọ mmezi: Ihe ndị na-adịgide adịgide na injinia ziri ezi na-ebelata mkpa ọ dị maka ngbanwe na nrụzi ugboro ugboro, na-ebelata ụgwọ ọrụ mmepụta ihe.
Onye na-ebu Epi pan bụ ihe dị mkpa na usoro uto epitaxial, na-emetụta kpọmkwem àgwà na nkwekọ nke ngwaọrụ semiconductor. Site n'ịhọrọ ihe ndị dị mma na imewe, ndị na-emepụta nwere ike ịkwalite usoro epitaxial, na-eduga n'ịrụ ọrụ ngwaọrụ dị mma ma belata ụgwọ ọrụ mmepụta. Ka ọchịchọ maka ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu na-abawanye, mkpa dị elu dị eluepi pan ebuna ụlọ ọrụ semiconductor na-aga n'ihu na-abawanye.
Oge nzipu: Ọgọst-13-2024