SiC Paddle na nrụpụta Semiconductor

N'ime mpaghara mmepụta nke semiconductor, ndịSiC Paddlena-arụ ọrụ dị oke mkpa, ọkachasị na usoro uto epitaxial. Dị ka isi akụrụngwa eji naMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) sistemu,SiC PaddlesA na-emezi ya ka ọ na-edi oke okpomọkụ na gburugburu kemịkalụ siri ike, na-eme ka ha dị mkpa maka nrụpụta dị elu. Na Semicera, anyị bụ ọkachamara n'ịmepụta arụmọrụ dị eluSiC Paddlesemebere maka maDị ka EpitaxynaSiC epitaxy, na-enye ogologo ndụ pụrụ iche na nkwụsi ike okpomọkụ.

Ojiji SiC Paddles na-ewu ewu na usoro dị ka uto epitaxial, ebe mkpụrụ ahụ chọrọ ọnọdụ okpomọkụ na kemịkal. Ngwaahịa anyị Semicera na-eme ka arụmọrụ kacha mma na gburugburu chọrọ aMOCVD Susceptor, ebe a na-edobe akwa silicon carbide dị elu na mkpụrụ. Nke a na-enye aka mee ka mmawaferịdị mma na arụmọrụ ngwaọrụ dị elu na mmepụta semiconductor.

Ndị SemiceraSiC Paddlesna-abụghị nanị e mere makaDị ka Epitaxymana ahaziri maka ọtụtụ ngwa ndị ọzọ dị oke egwu. Dịka ọmụmaatụ, ha dakọtara na PSS Etching Carriers, dị mkpa na mmepụta nke wafer LED, yanaNdị na-ebu ICP Etching, ebe njikwa ion ziri ezi dị mkpa maka ịkpụzi wafers. Paddles ndị a dị mkpa na sistemụ dịkaNdị na-ebu RTP(Nhazi ngwa ngwa Thermal), ebe ọ dị mkpa maka mgbanwe mgbanwe okpomọkụ ngwa ngwa na ịdị elu nke okpomọkụ dị oke mkpa.

Na mgbakwunye, SiC Paddles na-eje ozi dị ka LED Epitaxial Susceptors, na-eme ka uto nke wafers LED dị elu dị elu. Ikike ijikwa nrụgide okpomọkụ na gburugburu ebe obibi dị iche iche na-eme ka ha na-akpakọrịta nke ukwuu gafee usoro mmepụta semiconductor dị iche iche.

N'ozuzu, Semicera agba mbọ na-ebuga SiC Paddles nke na-emezu ihe achọrọ nke nrụpụta semiconductor ọgbara ọhụrụ. Site na SiC Epitaxy ruo MOCVD Susceptors, ihe ngwọta anyị na-eme ka ntụkwasị obi na arụmọrụ dịkwuo mma, na-eme ka ihe ndị ụlọ ọrụ na-achọsi ike.