Nkebi / 1 CVD (Chemical Vapor Deposition): Na 900-2300 ℃, na-eji TaCl5 na CnHm dị ka tantalum na carbon, H₂ dị ka mbenata ikuku, Ar₂as ụgbọelu gas, mmeghachi omume ntinye ihe nkiri. Ihe mkpuchi a kwadebere bụ kọmpat, otu na ịdị ọcha dị elu. Agbanyeghị, enwere ụfọdụ pro ...
GỤKWUO