Nkebi / 1CVD (Chemical Vapor Deposition): Na 900-2300 ℃, iji TaCl5 na CnHm dị ka tantalum na carbon, H₂ dị ka mbenata ikuku, Ar₂as ụgbọelu gas, mmeghachi omume ntinye ihe nkiri. Ihe mkpuchi a kwadebere bụ kọmpat, otu na ịdị ọcha dị elu. Agbanyeghị, enwere nsogbu ...
GỤKWUO