Ụdị SiC Substrate Wafer

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụdị SiC Substrate Wafer nke Semicera P-mepụtara maka ngwa eletrọnịkị na ngwa optoelectronic dị elu. Wafers ndị a na-enye conductivity pụrụ iche na nkwụsi ike nke okpomọkụ, na-eme ka ha dị mma maka ngwaọrụ arụ ọrụ dị elu. Site na Semicera, na-atụ anya izi ezi na ntụkwasị obi na wafers ụdị SiC nke P gị.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Ụdị SiC Substrate Wafer nke Semicera bụ akụkụ dị mkpa maka ịmepụta ngwa eletrọnịkị na optoelectronic dị elu. Emebere wafers ndị a kpọmkwem iji nye arụmọrụ emelitere na gburugburu ike dị elu na oke okpomọkụ, na-akwado ọchịchọ na-eto eto maka ihe ndị na-arụ ọrụ nke ọma na nke na-adịgide adịgide.

Ụdị doping ụdị P dị na wafers SiC anyị na-eme ka a hụ na arụmọrụ eletrik ka mma yana chaja ụgbọ ala. Nke a na-eme ka ha dị mma maka ngwa na ngwa eletriki eletrik, LEDs, na sel fotovoltaic, ebe nkwụsị ike dị ala na arụmọrụ dị elu dị oke mkpa.

Emepụtara ya na ụkpụrụ izizi na ịdị mma kachasị elu, ụdị SiC nke Semicera's P-ụdị SiC na-enye ezigbo otu n'elu yana ọnụ ọgụgụ ntụpọ pere mpe. Àgwà ndị a dị oké mkpa maka ụlọ ọrụ ebe nkwekọ na ntụkwasị obi dị mkpa, dị ka ikuku ikuku, ụgbọ ala, na mpaghara ume ọhụrụ.

Nkwenye Semicera na ime ohuru na ịdị mma pụtara ìhè na ụdị SiC Substrate Wafer nke P anyị. Site na ijikọ wafer ndị a n'ime usoro mmepụta gị, ị na-ahụ na ngwaọrụ gị na-erite uru site na ihe ọkụ ọkụ na ọkụ eletrik nke SiC, na-enyere ha aka ịrụ ọrụ nke ọma n'okpuru ọnọdụ ịma aka.

Itinye ego na Semicera's P-ụdị SiC Substrate Wafer pụtara ịhọrọ ngwaahịa na-agwakọta sayensị ihe dị oke ọnụ na injinia nke ọma. Semicera raara onwe ya nye n'ịkwado ọgbọ na-esote teknụzụ eletrọnịkị na optoelectronic, na-enye ihe ndị dị mkpa achọrọ maka ịga nke ọma gị na ụlọ ọrụ semiconductor.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwucha azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: