Ụdị SiC Substrate Wafer nke Semicera bụ akụkụ dị mkpa maka ịmepụta ngwa eletrọnịkị na optoelectronic dị elu. Emebere wafers ndị a kpọmkwem iji nye arụmọrụ emelitere na gburugburu ike dị elu na oke okpomọkụ, na-akwado ọchịchọ na-eto eto maka ihe ndị na-arụ ọrụ nke ọma na nke na-adịgide adịgide.
Ụdị doping ụdị P dị na wafers SiC anyị na-eme ka a hụ na arụmọrụ eletrik ka mma yana chaja ụgbọ ala. Nke a na-eme ka ha dị mma maka ngwa na ngwa eletriki eletrik, LEDs, na sel fotovoltaic, ebe nkwụsị ike dị ala na arụmọrụ dị elu dị oke mkpa.
Emepụtara ya na ụkpụrụ izizi na ịdị mma kachasị elu, ụdị SiC nke Semicera's P-ụdị SiC na-enye ezigbo otu n'elu yana ọnụ ọgụgụ ntụpọ pere mpe. Àgwà ndị a dị oké mkpa maka ụlọ ọrụ ebe nkwekọ na ntụkwasị obi dị mkpa, dị ka ikuku ikuku, ụgbọ ala, na mpaghara ume ọhụrụ.
Nkwenye Semicera na ime ohuru na ịdị mma pụtara ìhè na ụdị SiC Substrate Wafer nke P anyị. Site na ijikọ wafer ndị a n'ime usoro mmepụta gị, ị na-ahụ na ngwaọrụ gị na-erite uru site na ihe ọkụ ọkụ na ọkụ eletrik nke SiC, na-enyere ha aka ịrụ ọrụ nke ọma n'okpuru ọnọdụ ịma aka.
Itinye ego na Semicera's P-ụdị SiC Substrate Wafer pụtara ịhọrọ ngwaahịa na-agwakọta sayensị ihe dị oke ọnụ na injinia nke ọma. Semicera raara onwe ya nye n'ịkwado ọgbọ na-esote teknụzụ eletrọnịkị na optoelectronic, na-enye ihe ndị dị mkpa achọrọ maka ịga nke ọma gị na ụlọ ọrụ semiconductor.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |