Semiceranwere obi ụtọ inye ndịKaseti PFA, Nhọrọ dị oke ọnụ maka njikwa wafer na gburugburu ebe nguzogide kemịkalụ na ịdịte aka dị oke mkpa. Emebere ya site na ihe dị elu nke Perfluoroalkoxy (PFA), kaseti a ka emebere ka ọ nagide ọnọdụ kachasị achọ na nrụpụta semiconductor, na-ahụ maka nchekwa na iguzosi ike n'ezi ihe nke wafers gị.
Nguzogide kemịkalụ enweghị atụNkeKaseti PFAemebere ya iji nye nguzogide dị elu karịa ụdị kemịkalụ dị iche iche, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ zuru oke maka usoro nke gụnyere acids ike ike, ihe mgbaze, na kemịkalụ ndị ọzọ siri ike. Mgbochi kemịkalụ a siri ike na-eme ka kaseti ahụ ka dịgidere ma na-arụ ọrụ ọbụna na gburugburu ebe ndị kacha emebi emebi, si otú a na-agbatị ndụ ya ma na-ebelata mkpa ọ dị iji dochie anya mgbe niile.
Elu-Ọcha EwuNdị SemiceraKaseti PFAA na-emepụta ya site na ihe PFA dị ọcha, nke dị oke mkpa na igbochi mmetọ n'oge nhazi wafer. Ihe owuwu a dị oke ọcha na-ebelata ihe ize ndụ nke ọgbọ irighiri ihe na nsị kemịkalụ, na-ahụ na echekwabara wafers gị pụọ na adịghị ọcha nke nwere ike imebi ogo ha.
Ọdịgidere emelitere na arụmọrụEzubere maka ịdịte aka, nkeKaseti PFAna-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe nhazi ya n'okpuru oke okpomọkụ yana ọnọdụ nhazi siri ike. Ma ekpughere ya na okpomọkụ dị elu ma ọ bụ ejiri ya mee ihe ugboro ugboro, kaseti a na-ejigide ọdịdị ya na arụmọrụ ya, na-enye ntụkwasị obi ogologo oge na gburugburu ebe nrụpụta ihe.
Injinia nkenke maka njikwa echekwaraNkeKaseti PFA Semiceraatụmatụ injinia ziri ezi nke na-eme ka njikwa wafer kwụsie ike ma kwụsie ike. Ejiri nlezianya hazie oghere ọ bụla ka ọ na-ejide wafers na nchekwa, na-egbochi mmegharị ọ bụla ma ọ bụ mgbanwe ọ bụla nwere ike ịkpata mmebi. Injinia nkenke a na-akwado ntinye wafer na-agbanwe agbanwe na nke ziri ezi, na-atụnye aka na nhazi usoro n'ozuzu ya.
Ngwa dịgasị iche iche gafere usoroN'ihi ya elu ihe onwunwe Njirimara, naKaseti PFAnwere ike iji ya mee ihe n'ofe dị iche iche nke imepụta semiconductor. Ọ dabara nke ọma maka mmiri etching, kemịkalụ vapor deposition (CVD), na usoro ndị ọzọ metụtara gburugburu kemịkalụ siri ike. Ngbanwe ya na-eme ka ọ bụrụ ngwá ọrụ dị mkpa n'ịkwado iguzosi ike n'ezi ihe na ịdị mma wafer.
Nkwenye n'ịdị mma na ihe ọhụrụNa Semicera, anyị na-agba mbọ ịnye ngwaahịa ndị na-agbaso ụkpụrụ ụlọ ọrụ kachasị elu. NkeKaseti PFAna-egosipụta nkwa a, na-enye ihe ngwọta a pụrụ ịdabere na ya nke na-ejikọta n'enweghị nsogbu na usoro mmepụta gị. Cassette ọ bụla na-enweta njikwa mma siri ike iji hụ na ọ na-emezu ụkpụrụ arụmọrụ anyị siri ike, na-ebuga ịdị mma ị tụrụ anya na Semicera.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |