NkeQuartz Glass Pedestalsitere na Semicera emebere nke ọma maka ngwa arụmọrụ dị elu na nrụpụta semiconductor na ụlọ ọrụ ndị metụtara ya. Emepụtara yaquartz dị ọcha, pedestal a na-eme ka nkwụsi ike na-ekpo ọkụ na-enweghị atụ na nguzogide kemịkalụ, na-eme ka ọ dị mma maka gburugburu ebe obibi.
Pedestal quartz anyị na-enye nkwado a pụrụ ịdabere na ya n'oge usoro dị oke mkpa dị ka LPCVD (Nrụgide Na-ahụ Maka Vapor Chemical Vapor Deposition) na mgbasa.waferusoro. Site n'ịdị mma ya dị elu, iko silica fused eji arụ ụlọ anyị na-ebelata ihe egwu mmetọ, na-ahụ na ngwaahịa gị ziri ezi.
Na Semicera, anyị na-agba mbọ ịnye ngwaahịa kachasị mma na-agbaso ụkpụrụ ụlọ ọrụ siri ike. AnyịQuartz Glass Pedestalemebere iji kwado usoro dị iche iche n'ụzọ dị irè ma na-ejigide ogologo oge na ntụkwasị obi. Ma maka nyocha, mmepe, ma ọ bụ mmepụta, pedestal a bụ ihe dị mkpa maka ị nweta nsonaazụ dị elu na arụmọrụ gị.
anyị ghọtara mkpa ihe dị mma na mpaghara semiconductor. Ihe mejupụtara iko quartz anyị jikọtara ọnụ abụghị naanị na-adịgide adịgide kamakwa ọnụ ahịa asọmpi. Quartz fused eji na pedestals anyị na-enye ọrụ dị mma, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ kachasị mma maka ndị ọkachamara na-achọ ntụkwasị obi na-enweghị imebi àgwà.
Uru nke Fused Quartz Material
1.High okpomọkụ Resistance
Pedestal Fused Quartz na-anya isi ihe na-eme ka ọ dị nro nke ihe dịka 1730 Celsius, na-enye ya ohere iji ya mee ogologo oge na okpomọkụ sitere na 1100°C ruo 1250°C. Ọzọkwa, ọ nwere ike ịtachi obi n'oge dị mkpirikpi na okpomọkụ dị elu dị ka 1450 ° C.
2.Corrosion Resistance
Fused Quartz Pedestal bụ kemịkalụ inert na ọtụtụ acid, ewezuga hydrofluoric acid. Nguzogide acid ya karịrị nke seramiki ugboro 30 yana igwe anaghị agba nchara ugboro 150. N'ebe okpomọkụ dị elu, ọ nweghị ihe ọzọ nwere ike dakọtara na nkwụsi ike kemịkalụ nke fused quartz, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ dị mma maka gburugburu kemịkalụ siri ike.
3. Thermal kwụsie ike
Otu n'ime ihe pụtara ìhè nke Fused Quartz Pedestal bụ ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ ya pere mpe. Ihe onwunwe a na-enye ya ohere iguzogide mgbanwe okpomọkụ siri ike na-enweghị mgbawa. Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ikpo ọkụ ngwa ngwa ruo 1100 ° C wee mikpuo ya na mmiri n'ime ụlọ na-enweghị mmebi - njirimara dị mkpa maka usoro nrụpụta nrụgide dị elu.
