Semiceraewebata naSemiconductor Cassette, ngwá ọrụ dị mkpa maka njikwa nchekwa na nke ọma nke wafers n'oge usoro mmepụta semiconductor. N'ịbụ ndị ejiri nke ọma rụọ ọrụ nke ọma, cassette a na-ahụ na echekwara ma bufee wafer gị n'enweghị nsogbu, na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe n'oge ọ bụla.
Nchekwa kachasị elu na ịdịte akaNkeSemiconductor CassetteA na-ewu Semicera ka ọ na-enye nchebe kachasị na wafers gị. Ewubere site na ihe siri ike, ihe na-egbochi mmetọ, ọ na-echebe wafer gị pụọ na mmebi na mmetọ nwere ike ime ya, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ kacha mma maka gburugburu ime ụlọ dị ọcha. Nhazi nke cassette ahụ na-ebelata ọgbọ dị iche iche ma hụ na a na-emetụghị wafer ma chekwaa n'oge njikwa na njem.
Nhazi emelitere maka ịrụ ọrụ kacha mmaNdị SemiceraSemiconductor Cassettena-egosi nhazi nke ọma nke na-enye nhazi nke wafer ziri ezi, na-ebelata ihe ize ndụ nke enweghị nhazi na mmebi n'ibu. Oghere cassette ahụ bụ nke ọma iji jide wafer ọ bụla nke ọma, na-egbochi mmegharị ọ bụla nke nwere ike ibute ncha ma ọ bụ ezughị okè ndị ọzọ.
Ndakọrịta na ndakọrịtaNkeSemiconductor Cassettena-agbanwe agbanwe ma kwekọọ na nha wafer dị iche iche, na-eme ka ọ dị mma maka ọkwa dị iche iche nke mmepụta semiconductor. Ma ị na-arụ ọrụ na ụkpụrụ wafer ma ọ bụ omenala, kaseti a na-adaba na mkpa gị, na-enye mgbanwe na usoro nrụpụta gị.
Ijikwa na ịrụ ọrụ nke ọmaEjiri onye ọrụ n'uche, nkeSemicera Semiconductor Cassettedị fechaa ma dị mfe ijikwa, na-enye ohere maka nbudata ngwa ngwa na ịrụ ọrụ nke ọma. Nhazi ergonomic a abụghị naanị na-azọpụta oge kamakwa ọ na-ebelata ohere nke njehie mmadụ, na-eme ka arụ ọrụ dị mma n'ime ụlọ ọrụ gị.
Nzuko ụkpụrụ ụlọ ọrụSemicera ana achi achi naSemiconductor Cassettena-ezute ụkpụrụ ụlọ ọrụ kachasị elu maka ịdị mma na ntụkwasị obi. Cassette ọ bụla na-enweta ule siri ike iji kwe nkwa na ọ na-arụ ọrụ mgbe niile n'okpuru ọnọdụ siri ike nke nrụpụta semiconductor. Nraranye a maka ịdị mma na-eme ka a na-echekwa wafers gị mgbe niile, na-ejigide ụkpụrụ dị elu achọrọ na ụlọ ọrụ ahụ.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
