Semiceraewebata ya elu-eduDị ka Epitaxyọrụ, emebere iji zute ụkpụrụ ziri ezi nke ụlọ ọrụ semiconductor nke taa. Epitaxial silicon layers dị oke mkpa maka ịrụ ọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ eletrọnịkị, yana ngwọta Si Epitaxial anyị na-ahụ na akụrụngwa gị rụpụta ọrụ kacha mma.
Ngosipụta Silicon toro nke ọma Semiceraghọtara na ntọala nke ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ dị elu na-adabere n'ịdị mma nke ihe eji eme ihe. AnyịDị ka EpitaxyA na-achịkwa nke ọma iji mepụta akwa silicon nwere ịdị n'otu pụrụ iche na iguzosi ike n'ezi ihe kristal. N'ígwé ndị a dị mkpa maka ngwa sitere na microelectronics ruo ngwaọrụ ike dị elu, ebe nkwekọ na ntụkwasị obi dị mkpa.
Ebuliri maka ịrụ ọrụ ngwaọrụNkeDị ka EpitaxyỌrụ Semicera na-enye bụ ahaziri iji kwalite njirimara eletriki nke ngwaọrụ gị. Site na itolite akwa silicon dị ọcha na njupụta ntụpọ dị ala, anyị na-ahụ na akụrụngwa gị na-arụ ọrụ kachasị mma, yana nkwalite mbugharị ụgbọ elu yana obere mgbochi eletrik. Nkwalite a dị oke mkpa iji nweta njirimara ọsọ-ọsọ na ịdị elu nke teknụzụ ọgbara ọhụrụ chọrọ.
Ọdịiche dị na ngwa Semicera'sDị ka Epitaxydabara maka ngwa dị iche iche, gụnyere mmepụta nke CMOS transistor, MOSFET ike, na transistor junction bipolar. Usoro anyị na-agbanwe agbanwe na-enye ohere maka ịhazi ya dabere na ihe achọrọ maka ọrụ gị, ma ịchọrọ akwa akwa maka ngwa ugboro ugboro ma ọ bụ akwa akwa maka ngwaọrụ ike.
Ogo ihe kacha eluOgo bụ isi ihe niile anyị na-eme na Semicera. AnyịDị ka Epitaxyusoro na-eji ngwá ọrụ ọgbara ọhụrụ na usoro iji hụ na oyi akwa silicon ọ bụla na-ezute ụkpụrụ kachasị elu nke ịdị ọcha na nhazi nhazi. Nlebara anya a na nkọwa zuru ezu na-ebelata ọnọdụ nke ntụpọ nwere ike imetụta arụmọrụ ngwaọrụ, na-ebute ihe ndị a pụrụ ịdabere na ya na nke na-adịte aka.
Nkwenye na Innovation Semicerakpebisiri ike ịnọ n'ihu na teknụzụ semiconductor. AnyịDị ka Epitaxyọrụ na-egosipụta nkwa a, na-etinye ọganihu ọhụrụ na usoro uto epitaxial. Anyị na-emezigharị usoro anyị na-aga n'ihu iji wepụta akwa silicon nke na-egbo mkpa na-agbanwe agbanwe nke ụlọ ọrụ ahụ, na-ahụ na ngwaahịa gị nọgidere na-asọmpi n'ahịa.
Ngwọta ahaziri maka mkpa gịỊghọta na ọrụ ọ bụla pụrụ iche,Semicerana-enye ahaziriDị ka Epitaxyngwọta dabara gị kpọmkwem mkpa. Ma ịchọrọ profaịlụ doping pụrụ iche, ọkpụrụkpụ oyi akwa, ma ọ bụ imecha elu, ndị otu anyị na-arụkọ ọrụ ọnụ iji wepụta ngwaahịa dabara nkọwa gị.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |