Si Substrate nke Semicera bụ akụkụ dị mkpa na mmepụta nke ngwaọrụ semiconductor na-arụ ọrụ dị elu. Emebere ya site na Silicon dị ọcha (Si), mkpụrụ a na-enye otu ụdị, nkwụsi ike, na omume dị mma, na-eme ka ọ dị mma maka ọtụtụ ngwa dị elu na ụlọ ọrụ semiconductor. Ma ejiri ya na Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, ma ọ bụ SIN Substrate mmepụta, Semicera Si Substrate na-ebuga ogo na-agbanwe agbanwe na arụmọrụ dị elu iji gboo mkpa na-eto eto nke ngwa elektrọn na ihe sayensị ọgbara ọhụrụ.
Arụmọrụ enweghị atụ na ịdị ọcha dị elu na nkenke
Ejiri usoro dị elu arụpụtara Semicera's Si Substrate nke na-eme ka ịdị ọcha dị elu yana njikwa akụkụ siri ike. Mkpụrụ ahụ na-arụ ọrụ dị ka ntọala maka imepụta ihe dị iche iche dị elu, gụnyere Epi-Wafers na AlN Wafers. Izi ezi na ịdị n'otu nke Si Substrate na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ magburu onwe ya maka imepụta akwa epitaxial dị mkpa na ihe ndị ọzọ dị oke egwu ejiri na mmepụta nke semiconductor ọgbọ na-abịa. Ma ị na-arụ ọrụ na Gallium Oxide (Ga2O3) ma ọ bụ ihe ndị ọzọ dị elu, Semicera's Si Substrate na-eme ka ọ dị elu nke ntụkwasị obi na arụmọrụ.
Ngwa dị na nrụpụta Semiconductor
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, a na-eji Si Substrate sitere na Semicera n'ọtụtụ ngwa, gụnyere Si Wafer na mmepụta SiC Substrate, ebe ọ na-enye ntọala kwụsiri ike, ntụkwasị obi maka ntinye nke ọkwa na-arụ ọrụ. Mkpụrụ ahụ na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịmepụta SOI Wafers (Silicon On Insulator), nke dị mkpa maka microelectronics dị elu na sekit jikọtara ọnụ. Ọzọkwa, Epi-Wafers (epitaxial wafers) wuru na Si Substrates bụ ihe dị mkpa n'ịmepụta ngwaọrụ semiconductor dị elu dị ka transistors ike, diodes, na sekit jikọtara ọnụ.
Ihe Si Substrate na-akwadokwa nrụpụta ngwaọrụ site na iji Gallium Oxide (Ga2O3), ihe obosara bandgap na-ekwe nkwa ejiri maka ngwa ike dị elu na ngwa eletrọnịkị. Na mgbakwunye, ndakọrịta nke Semicera's Si Substrate na AlN Wafers na ihe ndị ọzọ dị elu na-eme ka o doo anya na ọ nwere ike imezu ihe dị iche iche nke ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu, na-eme ka ọ bụrụ ihe ngwọta dị mma maka imepụta ngwaọrụ ndị na-emebi emebi na nkwukọrịta, ụgbọ ala, na ngalaba ụlọ ọrụ mmepụta ihe. .
Kwesịrị ntụkwasị obi yana ịdị mma maka ngwa teknụzụ dị elu
A na-eji nlezianya rụzigharị Si Substrate nke Semicera iji gboo mkpa siri ike nke imepụta semiconductor. Iguzosi ike n'ezi ihe nhazi ya na ihe dị elu dị elu na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mma maka ojiji na sistemụ cassette maka njem wafer, yana maka ịmepụta ọkwa dị elu na ngwaọrụ semiconductor. Ikike nke mkpụrụ osisi iji nọgide na-adị mma na-agbanwe agbanwe n'okpuru ọnọdụ usoro dị iche iche na-eme ka ntụpọ pere mpe, na-abawanye mkpụrụ na arụmọrụ nke ngwaahịa ikpeazụ.
Site na njikwa ọkụ ya dị elu, ike igwe na ịdị ọcha dị elu, Semicera's Si Substrate bụ ihe a na-ahọrọ maka ndị na-emepụta ihe na-achọ iji nweta ụkpụrụ kachasị elu nke izizi, ntụkwasị obi na arụmọrụ na mmepụta semiconductor.
Họrọ Substrate Semicera's Si maka ịdị ọcha dị elu, Ngwọta dị elu
Maka ndị na-emepụta ihe na ụlọ ọrụ semiconductor, Si Substrate si Semicera na-enye ngwọta siri ike, dị elu maka ọtụtụ ngwa ngwa, site na mmepụta Si Wafer na ịmepụta Epi-Wafers na SOI Wafers. Site na ịdị ọcha na-enweghị atụ, nkenke, na ntụkwasị obi, mkpụrụ a na-enyere aka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị mkpụmkpụ, na-ahụ na arụmọrụ ogologo oge na arụmọrụ kacha mma. Họrọ Semicera maka mkpa mkpụrụ nke Si gị, ma tụkwasị obi na ngwaahịa emebere iji gboo ihe achọrọ teknụzụ echi.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |