Si substrate

Nkọwa dị mkpirikpi:

Site na nhazi ya dị elu yana ịdị ọcha dị elu, Semicera's Si Substrate na-eme ka arụmọrụ ntụkwasị obi na-agbanwe agbanwe na ngwa dị oke egwu, gụnyere nrụpụta Epi-Wafer na Gallium Oxide (Ga2O3). Ezubere iji kwado mmepụta nke microelectronics dị elu, mkpụrụ a na-enye ndakọrịta na nkwụsi ike pụrụ iche, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mkpa maka teknụzụ dị oke ọnụ na ngalaba nkwukọrịta, ụgbọ ala, na ụlọ ọrụ mmepụta ihe.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Si Substrate nke Semicera bụ akụkụ dị mkpa na mmepụta nke ngwaọrụ semiconductor na-arụ ọrụ dị elu. Emebere ya site na Silicon dị ọcha (Si), mkpụrụ a na-enye otu ụdị, nkwụsi ike, na omume dị mma, na-eme ka ọ dị mma maka ọtụtụ ngwa dị elu na ụlọ ọrụ semiconductor. Ma ejiri ya na Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, ma ọ bụ SIN Substrate mmepụta, Semicera Si Substrate na-ebuga ogo na-agbanwe agbanwe na arụmọrụ dị elu iji gboo mkpa na-eto eto nke ngwa elektrọn na ihe sayensị ọgbara ọhụrụ.

Arụmọrụ enweghị atụ na ịdị ọcha dị elu na nkenke

Ejiri usoro dị elu arụpụtara Semicera's Si Substrate nke na-eme ka ịdị ọcha dị elu yana njikwa akụkụ siri ike. Mkpụrụ ahụ na-arụ ọrụ dị ka ntọala maka imepụta ihe dị iche iche dị elu, gụnyere Epi-Wafers na AlN Wafers. Izi ezi na ịdị n'otu nke Si Substrate na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ magburu onwe ya maka imepụta akwa epitaxial dị mkpa na ihe ndị ọzọ dị oke egwu ejiri na mmepụta nke semiconductor ọgbọ na-abịa. Ma ị na-arụ ọrụ na Gallium Oxide (Ga2O3) ma ọ bụ ihe ndị ọzọ dị elu, Semicera's Si Substrate na-eme ka ọ dị elu nke ntụkwasị obi na arụmọrụ.

Ngwa dị na nrụpụta Semiconductor

N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, a na-eji Si Substrate sitere na Semicera n'ọtụtụ ngwa, gụnyere Si Wafer na mmepụta SiC Substrate, ebe ọ na-enye ntọala kwụsiri ike, ntụkwasị obi maka ntinye nke ọkwa na-arụ ọrụ. Mkpụrụ ahụ na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịmepụta SOI Wafers (Silicon On Insulator), nke dị mkpa maka microelectronics dị elu na sekit jikọtara ọnụ. Ọzọkwa, Epi-Wafers (epitaxial wafers) wuru na Si Substrates bụ ihe dị mkpa n'ịmepụta ngwaọrụ semiconductor dị elu dị ka transistors ike, diodes, na sekit jikọtara ọnụ.

Ihe Si Substrate na-akwadokwa nrụpụta ngwaọrụ site na iji Gallium Oxide (Ga2O3), ihe obosara bandgap na-ekwe nkwa ejiri maka ngwa ike dị elu na ngwa eletrọnịkị. Na mgbakwunye, ndakọrịta nke Semicera's Si Substrate na AlN Wafers na ihe ndị ọzọ dị elu na-eme ka o doo anya na ọ nwere ike imezu ihe dị iche iche nke ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu, na-eme ka ọ bụrụ ihe ngwọta dị mma maka imepụta ngwaọrụ ndị na-emebi emebi na nkwukọrịta, ụgbọ ala, na ngalaba ụlọ ọrụ mmepụta ihe. .

Kwesịrị ntụkwasị obi yana ịdị mma maka ngwa teknụzụ dị elu

A na-eji nlezianya rụzigharị Si Substrate nke Semicera iji gboo mkpa siri ike nke imepụta semiconductor. Iguzosi ike n'ezi ihe nhazi ya na ihe dị elu dị elu na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mma maka ojiji na sistemụ cassette maka njem wafer, yana maka ịmepụta ọkwa dị elu na ngwaọrụ semiconductor. Ikike nke mkpụrụ osisi iji nọgide na-adị mma na-agbanwe agbanwe n'okpuru ọnọdụ usoro dị iche iche na-eme ka ntụpọ pere mpe, na-abawanye mkpụrụ na arụmọrụ nke ngwaahịa ikpeazụ.

Site na njikwa ọkụ ya dị elu, ike igwe na ịdị ọcha dị elu, Semicera's Si Substrate bụ ihe a na-ahọrọ maka ndị na-emepụta ihe na-achọ iji nweta ụkpụrụ kachasị elu nke izizi, ntụkwasị obi na arụmọrụ na mmepụta semiconductor.

Họrọ Substrate Semicera's Si maka ịdị ọcha dị elu, Ngwọta dị elu

Maka ndị na-emepụta ihe na ụlọ ọrụ semiconductor, Si Substrate si Semicera na-enye ngwọta siri ike, dị elu maka ọtụtụ ngwa ngwa, site na mmepụta Si Wafer na ịmepụta Epi-Wafers na SOI Wafers. Site na ịdị ọcha na-enweghị atụ, nkenke, na ntụkwasị obi, mkpụrụ a na-enyere aka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị mkpụmkpụ, na-ahụ na arụmọrụ ogologo oge na arụmọrụ kacha mma. Họrọ Semicera maka mkpa mkpụrụ nke Si gị, ma tụkwasị obi na ngwaahịa emebere iji gboo ihe achọrọ teknụzụ echi.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwucha azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: