Mgbanaka mgbanaka SiC siri ike

Nkọwa dị mkpirikpi:

Emebere Semicera's SiC Etch Rings maka ngwa etching semiconductor na-arụ ọrụ dị elu nwere ogologo ogologo na nkenke. Emere ya site na silicon carbide (SiC) dị ọcha, mgbanaka etch a karịrị na plasma etching, akọrọ etching, na wafer etching usoro. Usoro mmepụta ihe dị elu nke Semicera na-eme ka mgbanaka a na-enye ezigbo nguzogide eyi na nkwụsi ike okpomọkụ ọbụlagodi na gburugburu ebe kachasị achọ. Anyị na-atụ anya ịbụ onye mmekọ gị ogologo oge na China.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Mgbanaka mgbanaka SiC siri ike sitere na Semicera bụ akụkụ dị mkpụmkpụ emebere iji gboo ihe achọrọ nke nrụpụta semiconductor dị elu. Emere site na ịdị ọcha dị eluSilicon Carbide (SiC), mgbanaka a na-elekwasị anya dị mma maka ọtụtụ ngwa na ụlọ ọrụ semiconductor, karịsịa naUsoro CVD SiC, plasma etching, naICPRIE (Plasma Reactive Ion Etching Ejikọtara ya na Inductively). Amara maka nguzogide iyi ya pụrụ iche, nkwụsi ike dị elu, yana ịdị ọcha, ọ na-eme ka arụmọrụ na-adịte aka na gburugburu ebe nrụgide dị elu.

Na semiconductorwafernhazi, Mgbanaka mgbanaka SiC siri ike dị oke mkpa n'ịkwado etching ziri ezi n'oge etching akọrọ na wafer etching ngwa. Mgbanaka mgbanaka SiC na-enyere aka n'ilekwasị anya na plasma n'oge usoro dị ka arụ ọrụ igwe etching plasma, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mkpa maka etching nke silicon wafers. Ihe SiC siri ike na-enye nguzogide na-enweghị atụ maka mbuze, na-eme ka ogologo oge nke akụrụngwa gị dị ogologo ma na-ebelata oge nkwụsịtụ, nke dị mkpa maka ịnọgide na-enwe nnukwu mmepụta na mmepụta semiconductor.

Emebere mgbanaka mgbanaka SiC siri ike sitere na Semicera ka ọ nagide oke okpomọkụ yana kemịkalụ ike ike na-ezute na ụlọ ọrụ semiconductor. Emebere ya nke ọma maka iji rụọ ọrụ dị oke oke dị kaCVD SiC mkpuchi, ebe ịdị ọcha na ịdịte aka bụ ihe kacha mkpa. Site na nguzogide dị mma na ujo ọkụ, ngwaahịa a na-eme ka arụmọrụ na-agbanwe agbanwe ma kwụsie ike n'okpuru ọnọdụ kachasị njọ, gụnyere ikpughe na oke okpomọkụ n'oge.waferusoro etching.

N'ime ngwa semiconductor, ebe izi ezi na ntụkwasị obi bụ isi, mgbanaka mgbanaka SiC Focus na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkwalite arụmọrụ zuru oke nke usoro etching. Nhazi ya siri ike, arụmọrụ dị elu na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ zuru oke maka ụlọ ọrụ na-achọ ihe dị elu dị ọcha nke na-arụ ọrụ n'okpuru ọnọdụ dị oke egwu. Ma ejiri ya mee iheCVD SiC mgbanakaNgwa ma ọ bụ dị ka akụkụ nke usoro etching plasma, Semicera's Solid SiC Focus Ring na-enyere aka ịkwalite arụmọrụ akụrụngwa gị, na-enye ogologo ndụ na ntụkwasị obi nke usoro mmepụta gị chọrọ.

Akụkụ ndị bụ isi:

• Mgbochi iyi dị elu na nkwụsi ike dị elu
• Ngwa siri ike siri ike dị elu maka ogologo ndụ
• Ọ dị mma maka etching plasma, ICP RIE na ngwa etching akọrọ
• Zuru oke maka etching wafer, ọkachasị na usoro CVD SiC
• Arụmọrụ ntụkwasị obi na oke gburugburu na oke okpomọkụ
• Na-eme ka o doo anya na nkenke na arụmọrụ dị na etching nke silicon wafers

Ngwa:

• Usoro CVD SiC na mmepụta semiconductor
• Plasma etching na usoro ICP RIE
• Akọrọ etching na wafer etching usoro
• Etching na ntinye n'ime igwe etching plasma
• Ngwa ndị ziri ezi maka mgbanaka wafer na mgbanaka CVD SiC