Nkọwa
Ndị na-ebu Semicorex Wafer nwere mkpuchi SiC na-enye nkwụsi ike na arụmọrụ pụrụ iche, na-eme ka nkesa ọkụ n'otu n'otu n'oge usoro CVD, dị oke mkpa maka ihe nkiri dị oke mma na njirimara mkpuchi.
Akụkụ ndị bụ isi:
1. Pụrụ Iche nke Thermal Stability na ConductivityNdị na-ebu wafer anyị nwere SiC na-eme nke ọma n'idebe okpomọkụ kwụsiri ike na nke na-agbanwe agbanwe, dị oke mkpa maka usoro CVD. Nke a na-eme ka nkesa okpomọkụ dị n'otu, na-eduga na ihe nkiri dị mkpa na mma mkpuchi.
2. Nrụpụta nkenkeA na-arụpụta ụgbọ mmiri wafer ọ bụla ka ọ dabara nke ọma, na-ahụ na ọkpụrụkpụ otu na ịdị nro dị n'elu. Nke a ziri ezi dị mkpa maka inweta ọnụego nkwụnye ego na-agbanwe agbanwe yana ihe nkiri n'ofe ọtụtụ wafer, na-eme ka ogo nrụpụta n'ozuzu ya dịkwuo mma.
3. Ihe mgbochi adịghị ọchaIhe mkpuchi SiC na-arụ ọrụ dị ka ihe mgbochi na-adịghị agwụ agwụ, na-egbochi mgbasa nke adịghị ọcha site na onye susceptor n'ime wafer. Nke a na-ebelata ihe egwu mmetọ, nke dị oke mkpa maka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị ọcha.
4. Ogologo oge na ịrụ ọrụ ọnụ ahịaIhe owuwu siri ike na mkpuchi SiC na-eme ka ịdịte aka nke ndị na-ebu wafer na-ebelata, na-ebelata ugboro ole ngbanwe nke susceptor. Nke a na-eduga n'ịbelata ụgwọ ọrụ mmezi yana ibelata oge nkwụsịtụ, na-abawanye arụmọrụ nke ọrụ nrụpụta semiconductor.
5. Nhọrọ nhaziEnwere ike ịhazi ndị na-ebu Semicorex Wafer nwere mkpuchi SiC iji mezuo usoro achọrọ, gụnyere ọdịiche dị na nha, ọdịdị na nha mkpuchi. Mgbanwe a na-enye ohere maka njikarịcha nke onye susceptor dabara na ihe pụrụ iche nke usoro mmepụta semiconductor dị iche iche. Nhọrọ nke nhazi na-enyere aka ịmepụta atụmatụ nke susceptor ahaziri maka ngwa pụrụ iche, dị ka mmepụta oke ma ọ bụ nyocha na mmepe, na-ahụ na arụmọrụ kachasị mma maka ikpe eji eme ihe.
Ngwa:
Ndị na-ebu Semicera Wafer nwere mkpuchi SiC dabara adaba maka:
• Epitaxial uto nke ihe semiconductor
• Usoro ntinye mmiri nke kemịkalụ (CVD).
• Mmepụta nke semiconductor wafers dị elu
• Ngwa nrụpụta semiconductor dị elu
Nkọwa nka nka:
