Ndị SemiceraSilicon Carbide Epitaxyemebere ya iji gboo mkpa siri ike nke ngwa semiconductor ọgbara ọhụrụ. Site n'iji usoro uto epitaxial dị elu, anyị na-ahụ na oyi akwa silicon carbide na-egosipụta àgwà kristal pụrụ iche, ịdị n'otu, na njupụta ntụpọ pere mpe. Àgwà ndị a dị oké mkpa maka ịmepụta ngwá electronic na-arụ ọrụ dị elu, ebe arụmọrụ na njikwa okpomọkụ dị oke mkpa.
NkeSilicon Carbide EpitaxyA na-ahazi usoro na Semicera iji mepụta akwa epitaxial nke nwere oke nha yana njikwa doping, na-ahụ na arụmọrụ na-agbanwe agbanwe n'ofe ngwaọrụ dị iche iche. Ọkwa nke a nkenke dị mkpa maka ngwa n'ime ụgbọ ala eletrik, sistemu ike mmeghari ohuru, na nkwukọrịta ugboro ugboro, ebe ntụkwasị obi na arụmọrụ dị oke mkpa.
Ọzọkwa, Semicera'sSilicon Carbide Epitaxyna-enye nkwalite ikuku ọkụ yana voltaji ndakpọ dị elu, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ kacha amasị maka ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ n'okpuru oke ọnọdụ. Ngwongwo ndị a na-enye aka na ndụ ngwaọrụ dị ogologo ma melite arụmọrụ sistemu zuru oke, ọkachasị na gburugburu ike dị elu na oke okpomọkụ.
Semicera na-enyekwa nhọrọ nhazi makaSilicon Carbide Epitaxy, na-enye ohere maka ngwọta ahaziri nke na-egbo mkpa ngwaọrụ. Ma maka nyocha ma ọ bụ mmepụta buru ibu, a na-emepụta akwa epitaxial anyị iji kwado ọgbọ na-esote nke semiconductor innovations, na-eme ka mmepe nke ngwa eletrik dị ike, dị irè na nke a pụrụ ịdabere na ya.
Site na ijikọ teknụzụ ọnụ na usoro njikwa mma siri ike, Semicera na-ahụ na anyịSilicon Carbide Epitaxyngwaahịa ọ bụghị naanị na-ezute mana gafere ụkpụrụ ụlọ ọrụ. Nkwenye a maka ịdị mma na-eme ka akwa epitaxial anyị bụrụ ezigbo ntọala maka ngwa semiconductor dị elu, na-emeghe ụzọ maka ọganiihu na ngwa eletrọnịkị na optoelectronics.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |