Ihe nkiri Silicon site na Semicera bụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma, nke emebere iji gboo ihe siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor. Emepụtara site na silicon dị ọcha, ihe ngwọta ihe nkiri a dị gịrịgịrị na-enye ọmarịcha otu, ịdị ọcha dị elu, yana ihe ọkụ eletrik pụrụ iche. Ọ dị mma maka iji na ngwa semiconductor dị iche iche, gụnyere mmepụta nke Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, Sin Substrate, na Epi-Wafer. Ihe nkiri Silicon nke Semicera na-eme ka arụmọrụ ntụkwasị obi na-agbanwe agbanwe, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mkpa maka microelectronics dị elu.
Ogo kachasị elu na arụmọrụ maka nrụpụta Semiconductor
A maara ihe nkiri Silicon nke Semicera maka ike ọrụ ya pụtara ìhè, nkwụsi ike dị elu, yana ọnụego ntụpọ dị ala, nke niile dị oke mkpa n'ichepụta semiconductor na-arụ ọrụ dị elu. Ma ejiri ya na mmepụta nke Gallium Oxide (Ga2O3), AlN Wafer, ma ọ bụ Epi-Wafers, ihe nkiri ahụ na-enye ntọala siri ike maka ntinye ihe nkiri dị mkpa na uto epitaxial. Ndakọrịta ya na substrates semiconductor ndị ọzọ dị ka SiC Substrate na SOI Wafers na-eme ka njikọta enweghị nkebi n'ime usoro nrụpụta dị ugbu a, na-enyere aka ịnọgide na-enwe mkpụrụ dị elu na ịdị mma ngwaahịa na-agbanwe agbanwe.
Ngwa na Semiconductor Industry
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, a na-eji Semicera's Silicon Film eme ihe n'ọtụtụ ngwa, site na mmepụta nke Si Wafer na SOI Wafer gaa na ojiji pụrụ iche dị ka SiN Substrate na Epi-Wafer okike. Ịdị ọcha dị elu na nkenke nke ihe nkiri a na-eme ka ọ dị mkpa na mmepụta nke ihe ndị dị elu na-eji ihe ọ bụla sitere na microprocessors na sekit jikọtara na ngwaọrụ optoelectronic.
Ihe nkiri Silicon na-arụ ọrụ dị oke egwu na usoro semiconductor dị ka uto epitaxial, njikọ wafer, na ntinye ihe nkiri dị mkpa. Ngwongwo ya a pụrụ ịdabere na ya bara uru karịsịa maka ụlọ ọrụ ndị na-achọ ebe a na-achịkwa nke ọma, dị ka ime ụlọ dị ọcha na semiconductor fabs. Na mgbakwunye, enwere ike itinye ihe nkiri Silicon n'ime sistemụ cassette maka njikwa wafer nke ọma na njem n'oge mmepụta.
Ntụkwasị obi na ịdịgide ogologo oge
Otu uru dị mkpa nke iji ihe nkiri Silicon Semicera bụ ntụkwasị obi ogologo oge ya. Site na ịdịte aka ya dị mma na ịdị mma na-agbanwe agbanwe, ihe nkiri a na-enye ihe ngwọta a pụrụ ịdabere na ya maka gburugburu mmepụta ihe dị elu. Ma ejiri ya na ngwaọrụ semiconductor dị elu ma ọ bụ ngwa eletrọnịkị dị elu, Semicera's Silicon Film na-eme ka o doo anya na ndị nrụpụta nwere ike nweta arụmọrụ dị elu na ntụkwasị obi n'ofe ngwaahịa dị iche iche.
Kedu ihe kpatara ịhọrọ ihe nkiri Silicon Semicera?
Ihe nkiri Silicon sitere na Semicera bụ ihe dị mkpa maka ngwa ngwa na ụlọ ọrụ semiconductor. Ngwongwo ya dị elu, gụnyere nkwụsi ike nke okpomọkụ dị mma, ịdị ọcha dị elu, na ike ígwè ọrụ, na-eme ka ọ bụrụ ezigbo nhọrọ maka ndị na-emepụta ihe na-achọ iji nweta ụkpụrụ kachasị elu na mmepụta semiconductor. Site na Si Wafer na SiC Substrate na mmepụta nke Gallium Oxide Ga2O3 ngwaọrụ, ihe nkiri a na-enye àgwà na arụmọrụ na-enweghị atụ.
Site na ihe nkiri Silicon Semicera, ị nwere ike ịtụkwasị obi na ngwaahịa na-egbo mkpa nke nrụpụta semiconductor ọgbara ọhụrụ, na-enye ntọala ntụkwasị obi maka ọgbọ na-esote nke elektrọnik.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |