Silicon Na Insulator Wafer

Nkọwa dị mkpirikpi:

Semicera's Silicon On Insulator (SOI) Wafer na-enye ikewapụ ọkụ eletrik na njikwa okpomọkụ maka ngwa dị elu. Emebere ya iji wepụta arụmọrụ dị elu na ntụkwasị obi ngwaọrụ, wafers ndị a bụ nhọrọ kachasị maka teknụzụ semiconductor dị elu. Họrọ Semicera maka ngwọta wafer SOI dị oke.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Semicera's Silicon On Insulator (SOI) Wafer nọ n'ihu n'ihu na mmepụta ihe ọhụrụ nke semiconductor, na-enye ikewapụ ọkụ eletrik na arụmọrụ dị elu. Nhazi SOI, nke nwere oyi akwa silicon dị mkpa n'elu ihe mkpuchi, na-enye uru dị egwu maka ngwaọrụ eletrọnịkị na-arụ ọrụ dị elu.

Emebere wafers SOI anyị iji wedata ikike parasitic na mmiri na-agbapụta, nke dị mkpa maka ịmepụta sekit agbakwunyere ọsọ ọsọ na obere ike. Nkà na ụzụ a dị elu na-eme ka a hụ na ngwaọrụ na-arụ ọrụ nke ọma, na-enwe ọganihu dị elu na ume ike na-ebelata, dị oké mkpa maka ngwá electronic ọgbara ọhụrụ.

Usoro nrụpụta dị elu nke Semicera na-arụ ọrụ na-ekwe nkwa mmepụta nke wafers SOI nwere otu ọmarịcha na nkwekọ. Àgwà a dị oké mkpa maka ngwa na telekomunikasonu, ụgbọ ala, na ngwá electronic ndị ahịa, ebe achọrọ ihe ndị a pụrụ ịdabere na ya na nke na-arụ ọrụ dị elu.

Na mgbakwunye na uru eletrik ha, Semicera's SOI wafers na-enye ihe mkpuchi ọkụ dị elu, na-eme ka ikpo ọkụ na nkwụsi ike na ngwaọrụ dị elu na ike dị elu. Njirimara a bara uru karịsịa na ngwa ndị na-agụnye mmepụta okpomọkụ dị ịrịba ama ma chọọ njikwa okpomọkụ dị irè.

Site na ịhọrọ Semicera's Silicon On Insulator Wafer, ị na-etinye ego na ngwaahịa na-akwado ọganihu teknụzụ dị oke ọnụ. Nkwenye anyị maka ịdị mma na ihe ọhụrụ na-eme ka anyị hụ na wafers SOI na-egbo mkpa siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor nke oge a, na-enye ntọala maka ngwaọrụ eletrọnịkị ọgbọ ọzọ.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwucha azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: