Emebere Substrates Semicera Silicon iji gboo mkpa siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor, na-enye ịdịmma na nkenke na-enweghị atụ. Ihe ndị a na-enye ntọala a pụrụ ịdabere na ya maka ngwa dị iche iche, site na sekit jikọtara ọnụ na sel fotovoltaic, na-eme ka arụmọrụ dị mma na ogologo ndụ.
Ịdị ọcha dị elu nke Semicera Silicon Substrates na-eme ka nrụrụ dị nta na njirimara eletrik dị elu, nke dị oke mkpa maka mmepụta nke ngwa eletrik dị elu. Ọkwa ịdị ọcha a na-enyere aka n'ibelata mfu ume na imeziwanye arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor n'ozuzu ya.
Semicera na-eji usoro nrụpụta ọgbara ọhụrụ iji mepụta mkpụrụ silicon nwere otu na ịdị larịị pụrụ iche. Nke a ziri ezi dị mkpa maka ị nweta nsonaazụ na-agbanwe agbanwe na nrụpụta semiconductor, ebe ọbụlagodi obere mgbanwe nwere ike imetụta arụmọrụ ngwaọrụ yana mpụta.
Dị n'ụdị nha na nkọwapụta dị iche iche, Semicera Silicon Substrates na-egbo mkpa ụlọ ọrụ dị iche iche. Ma ị na-emepe emepe microprocessors ma ọ bụ akụkụ anyanwụ, ihe ndị a na-enye mgbanwe na ntụkwasị obi achọrọ maka ngwa gị akọwapụtara.
Semicera raara onwe ya nye ịkwado ihe ọhụrụ na arụmọrụ na ụlọ ọrụ semiconductor. Site n'inye ngwaahịa silicon dị elu, anyị na-enyere ndị nrụpụta aka ịkwanye oke teknụzụ, na-ebuga ngwaahịa na-egbo mkpa ahịa na-agbanwe agbanwe. Tụkwasa Semicera obi maka ngwa eletrọnịkị na igwe fotovoltaic nke ọgbọ gị.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |