Silicon mkpụrụ

Nkọwa dị mkpirikpi:

Semicera Silicon Substrates bụ nke emebere ya nke ọma maka ngwa arụmọrụ dị elu na ngwa eletrọnịkị na nrụpụta semiconductor. Site na ịdị ọcha pụrụ iche na ịdị n'otu, emebere ihe ndị a iji kwado usoro teknụzụ dị elu. Semicera na-ahụ maka ịdị mma na ntụkwasị obi na-agbanwe agbanwe maka ọrụ ị na-achọkarị.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Emebere Substrates Semicera Silicon iji gboo mkpa siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor, na-enye ịdịmma na nkenke na-enweghị atụ. Ihe ndị a na-enye ntọala a pụrụ ịdabere na ya maka ngwa dị iche iche, site na sekit jikọtara ọnụ na sel fotovoltaic, na-eme ka arụmọrụ dị mma na ogologo ndụ.

Ịdị ọcha dị elu nke Semicera Silicon Substrates na-eme ka nrụrụ dị nta na njirimara eletrik dị elu, nke dị oke mkpa maka mmepụta nke ngwa eletrik dị elu. Ọkwa ịdị ọcha a na-enyere aka n'ibelata mfu ume na imeziwanye arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor n'ozuzu ya.

Semicera na-eji usoro nrụpụta ọgbara ọhụrụ iji mepụta mkpụrụ silicon nwere otu na ịdị larịị pụrụ iche. Nke a ziri ezi dị mkpa maka ị nweta nsonaazụ na-agbanwe agbanwe na nrụpụta semiconductor, ebe ọbụlagodi obere mgbanwe nwere ike imetụta arụmọrụ ngwaọrụ yana mpụta.

Dị n'ụdị nha na nkọwapụta dị iche iche, Semicera Silicon Substrates na-egbo mkpa ụlọ ọrụ dị iche iche. Ma ị na-emepe emepe microprocessors ma ọ bụ akụkụ anyanwụ, ihe ndị a na-enye mgbanwe na ntụkwasị obi achọrọ maka ngwa gị akọwapụtara.

Semicera raara onwe ya nye ịkwado ihe ọhụrụ na arụmọrụ na ụlọ ọrụ semiconductor. Site n'inye ngwaahịa silicon dị elu, anyị na-enyere ndị nrụpụta aka ịkwanye oke teknụzụ, na-ebuga ngwaahịa na-egbo mkpa ahịa na-agbanwe agbanwe. Tụkwasa Semicera obi maka ngwa eletrọnịkị na igwe fotovoltaic nke ọgbọ gị.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwucha azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: