Semicera Silicon Wafers na-arụ ọrụ nke ọma ka ọ bụrụ ntọala maka ọtụtụ ngwaọrụ semiconductor, site na microprocessors ruo sel fotovoltaic. A na-eji ihe dị elu na ịdị ọcha arụzi wafers ndị a, na-ahụ na arụmọrụ kachasị mma na ngwa eletrọnịkị dị iche iche.
Emepụtara site na iji usoro dị elu, Semicera Silicon Wafers na-egosipụta ịdị larịị na ịdị n'otu, nke dị oke mkpa maka iweta mkpụrụ dị elu na nrụpụta semiconductor. Ọkwa nkenke a na-enyere aka n'ibelata ntụpọ yana melite arụmọrụ ngwa elektrọnik n'ozuzu ya.
Ogo kachasị elu nke Semicera Silicon Wafers pụtara ìhè na njirimara eletrik ha, nke na-enye aka na nkwalite arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor. Site na ọkwa adịghị ọcha dị ala na ogo kristal dị elu, wafers ndị a na-enye ikpo okwu dị mma maka ịmepụta ngwa elektrọnik dị elu.
Dị na nha na nkọwapụta dị iche iche, Semicera Silicon Wafers nwere ike ahaziri iji gboo mkpa nke ụlọ ọrụ dị iche iche, gụnyere kọmpụta, nkwukọrịta, na ume ọhụrụ. Ma maka nnukwu nrụpụta ma ọ bụ nyocha pụrụ iche, wafers ndị a na-enye nsonaazụ a pụrụ ịdabere na ya.
Semicera na-agba mbọ ịkwado uto na ihe ọhụrụ nke ụlọ ọrụ semiconductor site n'inye silicon wafers dị elu nke na-ezute ụkpụrụ ụlọ ọrụ kachasị elu. Site n'ilekwasị anya na nkenke na ntụkwasị obi, Semicera na-enyere ndị nrụpụta aka ịkwanye ókèala teknụzụ, na-eme ka ngwaahịa ha nọrọ n'ihu ahịa.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
