SOI Wafer Silicon Na Insulator

Nkọwa dị mkpirikpi:

Semicera's SOI Wafer (Silicon On Insulator) na-enye ikewapụ ọkụ eletrik na arụmọrụ maka ngwa semiconductor dị elu. Emebere ya maka ịrụ ọrụ ọkụ na ọkụ eletrik dị elu, wafer ndị a dị mma maka sekit jikọtara ọnụ na-arụ ọrụ dị elu. Họrọ Semicera maka ịdị mma na ntụkwasị obi na teknụzụ wafer SOI.


Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Emebere Semicera's SOI Wafer (Silicon On Insulator) iji wepụta ikewapụ ọkụ eletrik na arụmọrụ ọkụ. Ọdịdị wafer ọhụrụ a, nke na-egosipụta oyi akwa silicon na oyi akwa mkpuchi, na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ dịkwuo elu yana ibelata oriri ike, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa teknụzụ dị elu dị iche iche.

Wafers SOI anyị na-enye uru pụrụ iche maka sekit agbakwunyere site na ibelata ikike parasitic yana melite ọsọ na arụmọrụ ngwaọrụ. Nke a dị oké mkpa maka ngwá electronic nke oge a, ebe arụmọrụ dị elu na ike ike dị mkpa maka ma ndị na-azụ ahịa na ngwa mmepụta ihe.

Semicera na-eji usoro nrụpụta dị elu iji mepụta wafers SOI nwere ogo na ntụkwasị obi na-agbanwe agbanwe. Wafers ndị a na-enye ihe mkpuchi ọkụ dị mma, na-eme ka ha dị mma maka iji mee ihe na gburugburu ebe ikpo ọkụ na-enwe nchegbu, dị ka ngwaọrụ eletrik dị elu na usoro nchịkwa ike.

Ojiji nke SOI wafers n'ichepụta semiconductor na-enye ohere maka ịmepụta obere ibe, ngwa ngwa na nke a pụrụ ịdabere na ya. Nkwenye nke Semicera na injinia nkenke na-eme ka anyị hụ na ndị na-egwu SOI anyị na-agbaso ụkpụrụ dị elu achọrọ maka teknụzụ dị oke ọnụ na mpaghara dị ka nkwukọrịta, ụgbọ ala, na ngwa eletrọnịkị ndị ahịa.

Ịhọrọ Semicera's SOI Wafer pụtara itinye ego na ngwaahịa na-akwado ọganihu nke teknụzụ eletrọnịkị na microelectronic. Emebere wafers anyị iji nye nkwalite na ịdịte aka, na-atụnye aka na ịga nke ọma nke ọrụ teknụzụ dị elu yana hụ na ị nọ n'ihu n'ihu ihe ọhụrụ.

Ihe

Mmepụta

Nnyocha

Dummy

kristal Parameters

Ụdị poly

4H

Njehie nhazi ihu elu

<11-20>4±0.15°

Igwe ọkụ eletrik

Dopant

n-ụdị Nitrogen

Nguzogide

0.015-0.025ohm·cm

Mechanical Parameters

Dayameta

150.0± 0.2mm

Ọkpụrụkpụ

350± 25 μm

Ntuzi aka dị larịị

[1-100]±5°

Ogologo larịị nke isi

47.5 ± 1.5mm

Ụlọ nke abụọ

Ọ dịghị

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Ụta

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nhazi

Njupụta Micropipe

<1 ea/cm2

<10 nkea/cm2

<15 ea/cm2

Igwe adịghị ọcha

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ogo ihu

N'ihu

Si

Ngwucha elu

Si-ihu CMP

Ụmụ irighiri ihe

≤60ea/wafer (nha≥0.3μm)

NA

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta

Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta

NA

Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ

Ọ dịghị

NA

Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex

Ọ dịghị

Mpaghara polytype

Ọ dịghị

Mpaghara mkpokọta≤20%

Mpaghara mkpokọta≤30%

Akara laser n'ihu

Ọ dịghị

Ogo azụ

Ngwucha azụ

C-ihu CMP

Ọkpụkpụ

≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta

NA

Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents)

Ọ dịghị

Azụ isi ike

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Akara laser azụ

1 mm (si n'akụkụ elu)

Ọnụ

Ọnụ

Chamfer

Nkwakọ ngwaahịa

Nkwakọ ngwaahịa

Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu

Ngwunye cassette ọtụtụ wafer

* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Nke gara aga:
  • Osote: