Emebere Semicera's SOI Wafer (Silicon On Insulator) iji wepụta ikewapụ ọkụ eletrik na arụmọrụ ọkụ. Ọdịdị wafer ọhụrụ a, nke na-egosipụta oyi akwa silicon na oyi akwa mkpuchi, na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ dịkwuo elu yana ibelata oriri ike, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa teknụzụ dị elu dị iche iche.
Wafers SOI anyị na-enye uru pụrụ iche maka sekit agbakwunyere site na ibelata ikike parasitic yana melite ọsọ na arụmọrụ ngwaọrụ. Nke a dị oké mkpa maka ngwá electronic nke oge a, ebe arụmọrụ dị elu na ike ike dị mkpa maka ma ndị na-azụ ahịa na ngwa mmepụta ihe.
Semicera na-eji usoro nrụpụta dị elu iji mepụta wafers SOI nwere ogo na ntụkwasị obi na-agbanwe agbanwe. Wafers ndị a na-enye ihe mkpuchi ọkụ dị mma, na-eme ka ha dị mma maka iji mee ihe na gburugburu ebe ikpo ọkụ na-enwe nchegbu, dị ka ngwaọrụ eletrik dị elu na usoro nchịkwa ike.
Ojiji nke SOI wafers n'ichepụta semiconductor na-enye ohere maka ịmepụta obere ibe, ngwa ngwa na nke a pụrụ ịdabere na ya. Nkwenye nke Semicera na injinia nkenke na-eme ka anyị hụ na ndị na-egwu SOI anyị na-agbaso ụkpụrụ dị elu achọrọ maka teknụzụ dị oke ọnụ na mpaghara dị ka nkwukọrịta, ụgbọ ala, na ngwa eletrọnịkị ndị ahịa.
Ịhọrọ Semicera's SOI Wafer pụtara itinye ego na ngwaahịa na-akwado ọganihu nke teknụzụ eletrọnịkị na microelectronic. Emebere wafers anyị iji nye nkwalite na ịdịte aka, na-atụnye aka na ịga nke ọma nke ọrụ teknụzụ dị elu yana hụ na ị nọ n'ihu n'ihu ihe ọhụrụ.
Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
kristal Parameters | |||
Ụdị poly | 4H | ||
Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
Igwe ọkụ eletrik | |||
Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Mechanical Parameters | |||
Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nhazi | |||
Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ogo ihu | |||
N'ihu | Si | ||
Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
Ogo azụ | |||
Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
Ọnụ | |||
Ọnụ | Chamfer | ||
Nkwakọ ngwaahịa | |||
Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
* Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. |