TaC Coated Plate bụ diski pụrụ iche emebere maka ojiji na usoro SiC epitaxial, ejiri nkenke sitere na ihe eserese dị elu mee ya. A na-eji tantalum carbide (TaC) kpuchie elu ya nke ọma, ngwakọta mara maka ịdị ọcha na ike ya pụrụ iche. Ihe mkpuchi TaC na-eme ka efere ahụ dịkwuo ogologo na iguzogide okpomọkụ dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka ọnọdụ na-achọsi ike nke usoro SiC epitaxial.
Nke a ọhụrụ TaC mkpuchi mkpuchi bụ diski pụrụ iche emebere maka ojiji na usoro SiC epitaxial, ejiri nkenke sitere na ihe graphite dị elu mee ya. A na-eji tantalum carbide (TaC) kpuchie elu TaC nke ọma maka ịdị ọcha na ike ya. na-eje ozi dị ka ikpo okwu a pụrụ ịdabere na ya maka iburu wafers n'oge usoro dị iche iche nke uto SiC epitaxial. Ebe graphite ya dị elu dị elu na-enye elu kwụsiri ike na nke na-adịghị mma, ebe mkpuchi TaC na-agbakwunye nchebe ọzọ megide mmeghachi omume kemịkal na iyi.
ỌkaraogeA na-ahazi Plate Coated TaC dị ka ihe ndị ahịa chọrọ si dị, na-ahụ na arụmọrụ kacha mma yana ndakọrịta na sistemụ epitaxial SiC ha. Ma ọ dị nha, ọdịdị, ma ọ bụ nkọwapụta ndị ọzọ, a na-ahazi efere ndị a iji gboo mkpa pụrụ iche nke ngwa ọ bụla.
ya na enweghị TaC
Mgbe iji TaC (n'aka nri)
Ọzọkwa, Semicera'sNgwaahịa ndị nwere mkpuchi TaCna-egosipụta ndụ ọrụ ogologo oge yana nguzogide okpomọkụ dị elu ma e jiri ya tụnyereIhe mkpuchi SiC.Nyocha ụlọ nyocha egosila na anyịIhe mkpuchi TaCnwere ike na-arụ ọrụ mgbe niile na okpomọkụ ruo 2300 degrees Celsius maka ogologo oge. N'okpuru bụ ọmụmaatụ ụfọdụ nke ihe atụ anyị:
