Nhazi MEMS - Nkwekọrịta: Ngwa na arụmọrụ na ụlọ ọrụ Semiconductor, Ọrụ ahaziri Semicera
N'ime ụlọ ọrụ microelectronics na semiconductor, teknụzụ MEMS (micro-electromechanical system) aghọọla otu n'ime teknụzụ bụ isi nke na-akwalite mmepụta ihe ọhụrụ na akụrụngwa dị elu. Site na ọganihu nke sayensị na teknụzụ, teknụzụ MEMS ejiriwo nke ọma na sensọ, ndị na-eme ihe, ngwa anya, ngwa ahụike, ngwá electronic na mpaghara ndị ọzọ, ma jiri nwayọọ nwayọọ ghọọ akụkụ dị mkpa nke nkà na ụzụ ọgbara ọhụrụ. N'akụkụ ndị a, usoro njikọ (Bonding), dị ka isi nzọụkwụ na nhazi MEMS, na-arụ ọrụ dị mkpa na arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ahụ.
Nkwekọrịta bụ teknụzụ na-ejikọta ihe abụọ ma ọ bụ karịa site n'ụzọ anụ ahụ ma ọ bụ kemịkal. Ọtụtụ mgbe, ọ dị mkpa ijikọ akwa akwa dị iche iche site na ijikọ na ngwaọrụ MEMS iji nweta iguzosi ike n'ezi ihe na arụmọrụ arụ ọrụ. N'ime usoro nrụpụta nke ngwaọrụ MEMS, njikọta abụghị naanị usoro njikọ, kamakwa ọ na-emetụta nkwụsi ike nke okpomọkụ, ike igwe, arụmọrụ eletrik na akụkụ ndị ọzọ nke ngwaọrụ ahụ.
N'ime nhazi MEMS dị elu, nkà na ụzụ na-ejikọta chọrọ iji hụ na njikọ chiri anya n'etiti ihe na-ezere ntụpọ ọ bụla na-emetụta arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ. Ya mere, njikwa ziri ezi nke usoro njikọ na ihe ndị dị elu bụ ihe ndị dị mkpa iji hụ na ngwaahịa ikpeazụ na-ezute ụkpụrụ ụlọ ọrụ.
Ngwa njikọ MEMS na ụlọ ọrụ semiconductor
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, a na-eji teknụzụ MEMS eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ichepụta ngwaọrụ dị ka sensọ, ngwa ngwa, ihe mmetụta nrụgide, na gyroscopes. Site na mmụba na-achọwanye maka ngwaahịa dị ntakịrị, agbakwunyere na ọgụgụ isi, izi ezi na arụmọrụ chọrọ nke ngwaọrụ MEMS na-abawanye. N'ime ngwa ndị a, a na-eji teknụzụ njikọ jikọọ ihe dị iche iche dị ka silicon wafers, iko, metals, na polymers iji nweta ọrụ dị mma ma kwụsie ike.
1. Ihe mmetụta nrụgide na accelerometers
N'akụkụ ụgbọ ala, ikuku ikuku, eletrọnịkị ndị na-azụ ahịa, wdg, a na-eji ihe mmetụta nrụgide MEMS na ngwa ngwa eme ihe na nha na sistemụ njikwa. A na-eji usoro njikọ ahụ jikọọ ibe silicon na ihe mmetụta sensọ iji hụ na mmetụta dị elu na izi ezi. Ihe mmetụta ndị a ga-enwe ike iguzogide ọnọdụ gburugburu ebe obibi dị oke egwu, na usoro njikọ njikọ dị elu nwere ike igbochi ihe ndị a na-ewepụ ma ọ bụ na-arụ ọrụ nke ọma n'ihi mgbanwe okpomọkụ.
2. Micro-optical ngwaọrụ na MEMS optical switches
N'ihe gbasara nkwukọrịta ngwa anya na ngwaọrụ laser, ngwaọrụ anya MEMS na ntụgharị anya na-arụ ọrụ dị mkpa. A na-eji teknụzụ njikọta iji nweta njikọ ziri ezi n'etiti ngwaọrụ MEMS dabere na silicon yana ihe ndị dị ka eriri anya na enyo iji hụ na arụmọrụ na nkwụsi ike nke mgbasa ozi ngwa anya. Karịsịa na ngwa ndị nwere nnukwu ugboro, bandwidth obosara na nnyefe dị anya, nkà na ụzụ na-arụ ọrụ nke ọma dị oke mkpa.
3. MEMS gyroscopes na sensọ inertial
A na-eji MEMS gyroscopes na sensọ inertial eme ihe maka ịnyagharị na nhazi nke ọma na ụlọ ọrụ dị elu dị ka ịnya ụgbọ ala kwụụrụ onwe, robotics, na ikuku ikuku. Usoro njikọ njikọ dị elu nwere ike hụ na a pụrụ ịdabere na ngwaọrụ ma zere mmebi arụmọrụ ma ọ bụ ọdịda n'oge ọrụ ogologo oge ma ọ bụ ọrụ ugboro ugboro.
Isi arụmọrụ chọrọ nke teknụzụ njikọta na nhazi MEMS
Na nhazi MEMS, àgwà nke usoro njikọ na-ekpebi kpọmkwem arụmọrụ, ndụ na nkwụsi ike nke ngwaọrụ ahụ. Iji hụ na ngwaọrụ MEMS nwere ike ịrụ ọrụ ntụkwasị obi ruo ogologo oge na ọnọdụ ngwa dị iche iche, teknụzụ njikọ ga-enwerịrị arụmọrụ igodo ndị a:
1. Nkwụsi ike dị elu nke thermal
Ọtụtụ gburugburu ngwa ngwa na ụlọ ọrụ semiconductor nwere ọnọdụ okpomọkụ dị elu, karịsịa na mpaghara ụgbọ ala, ikuku ikuku, wdg. Nkwụsi ike nke okpomọkụ nke ihe njikọ dị oké mkpa ma nwee ike iguzogide mgbanwe okpomọkụ na-enweghị mmebi ma ọ bụ ọdịda.
2. Akwa mkpuchi mkpuchi
Ngwa MEMS na-agụnyekarị ihe owuwu micro-mechanical, yana esemokwu na mmegharị ogologo oge nwere ike ibute akụkụ njikọ ahụ iyi. Ihe njikọ ahụ kwesịrị inwe ezigbo nguzogide iyi iji hụ na nkwụsi ike na arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ na-eji ogologo oge.
3. Ịdị ọcha dị elu
Ụlọ ọrụ semiconductor nwere ihe siri ike chọrọ maka ịdị ọcha ihe. Obere mmetọ ọ bụla nwere ike ịkpata ọdịda ngwaọrụ ma ọ bụ mebie arụmọrụ. Ya mere, ihe eji eme ihe na usoro njikọ ga-enwerịrị ịdị ọcha dị oke elu iji hụ na mmetọ mpụga emetụtaghị ngwaọrụ ahụ n'oge ọrụ.
4. Kpọmkwem njikọkọ ziri ezi
Ngwa MEMS na-achọkarị nhazi ọkwa micron ma ọ bụ ọbụna nanometer nhazi. Usoro nkekọ ga-ahụrịrị na ndochi ziri ezi nke oyi akwa nke ọ bụla iji hụ na emetụtaghị ọrụ na arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ.
Njikọ anodic
Njikọ anodic:
● Ọdabara na njikọ n'etiti silicon wafers na iko, metal na iko, semiconductor na alloy, na semiconductor na iko.
Eutectoid njikọ:
● Ọdabara na ihe ndị dị ka PbSn, AuSn, CuSn, na AuSi
Njikọta gluu:
● Jiri gluu njikọ pụrụ iche, nke dabara adaba maka glued bonding pụrụ iche dị ka AZ4620 na SU8
● Ọdabara na inch 4 na 6-inch
Ọrụ Mgbakọ Omenala Semicera
Dị ka onye na-ahụ maka ụlọ ọrụ na-ahụ maka nhazi nhazi MEMS, Semicera na-agba mbọ inye ndị ahịa ọrụ nkwekọrịta ahaziri nke ọma na nke dị elu. Enwere ike iji teknụzụ njikọta anyị mee ihe n'ọtụtụ ebe na njikọ nke ihe dị iche iche, gụnyere silicon, iko, metal, ceramics, wdg, na-enye ihe ngwọta ọhụrụ maka ngwa dị elu na mpaghara semiconductor na MEMS.
Semicera nwere akụrụngwa mmepụta ihe na ndị otu teknụzụ dị elu, ma nwee ike ịnye azịza njikọta ahaziri dịka mkpa ndị ahịa siri dị. Ma ọ bụ njikọ a pụrụ ịdabere na ya n'okpuru okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe nrụgide dị elu, ma ọ bụ njikọ micro-device kpọmkwem, Semicera nwere ike izute usoro dị mgbagwoju anya dị iche iche chọrọ iji hụ na ngwaahịa ọ bụla nwere ike izute ụkpụrụ kachasị elu.
Anyị omenala bonding ọrụ na-ejedebeghị na ot bonding Filiks, ma na-agụnye metal bonding, thermal mkpakọ bonding, nrapado bonding na ndị ọzọ usoro, nke nwere ike inye ọkachamara oru nkwado maka dị iche iche ihe, ihe owuwu na ngwa chọrọ. Na mgbakwunye, Semicera nwekwara ike inye ndị ahịa ọrụ zuru oke site na mmepe prototype na mmepụta oke iji hụ na enwere ike mezuo ihe ọ bụla teknụzụ chọrọ nke ndị ahịa.
