6 '' Wafer Carrier for Aixtron G5 nke Semicera mere ka emebere ya ka ọ mezuo ihe achọrọ nke usoro uto epitaxial na sistemu Aixtron G5. Ejiri graphite dị elu rụọ ya, nke aonye na-ebu waferna-eme ka nkwụsi ike na ịdị n'otu n'ogeCVDnaUsoro MOCVD, na-eme ka ntinye ego dị na epi reactor.
Ya na asilicon carbide seramiikimkpuchi, 6 '' Wafer Carrier for Aixtron G5 na-enye nkwalite na-adịgide adịgide na nguzogide okpomọkụ, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa okpomọkụ dị elu na uto epitaxial. Emebere ngwaahịa a iji kwado nke ọmawaferijikwa ma bulie arụmọrụ na mmepụta semiconductor.
Na Semicera, anyị na-elekwasị anya n'inye ihe ngwọta dị elu maka ụlọ ọrụ semiconductor. A na-ewu ndị na-ebu wafer anyị maka ntụkwasị obi, na-ahụ maka ịrụ ọrụ nke ọma na sistemụ Aixtron G5 na ndị ọzọCVD epitaxyreactors. Ma ị na-eji silicon carbide ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-arụ ọrụ, onye na-ebu wafer a na-ahụ maka izi ezi na nkwekọ achọrọ maka nrụpụta semiconductor dị elu.
Akụkụ ndị bụ isi:
• Kachasị mma maka sistemụ Aixtron G5 na ndị ọzọ CVD MOCVD reactors.
• Susceptor graphite dị elu nke nwere mkpuchi seramiiki silicon carbide maka ịdịte aka.
• Kwesịrị ekwesị maka usoro uto epitaxial chọrọ nkenke na nkwụsi ike okpomọkụ.
• Ijikwa wafer a pụrụ ịdabere na ya na gburugburu semiconductor dị mgbagwoju anya.
Semicera raara onwe ya nye inye azịza dị oke ọnụ, na-ahụ na ọ bụla 6 '' Wafer Carrier na-ezute ụkpụrụ kachasị elu maka mkpa epitaxy gị.
