Semicera's 8 Inch N-ụdị SiC Wafers nọ n'ihu nke ihe ọhụrụ semiconductor, na-enye ntọala siri ike maka mmepe nke ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu. Emebere wafer ndị a iji gboo mkpa siri ike nke ngwa eletrọnịkị ọgbara ọhụrụ, site na ngwa eletrọnịkị ruo sekit ugboro ugboro.
Ụdị doping nke ụdị N na ndị a SiC wafers na-eme ka ọkụ eletrik ha dịkwuo mma, na-eme ka ha dị mma maka ngwa dịgasị iche iche, gụnyere ike diodes, transistor, na amplifiers. Nrụgharị dị elu na-eme ka ike na-efunahụ obere ike yana ịrụ ọrụ nke ọma, nke dị oke mkpa maka ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ n'ogo dị elu na ọkwa ike.
Semicera na-eji usoro nrụpụta dị elu wepụta SiC wafers nwere otu ihu elu pụrụ iche yana ntụpọ pere mpe. Ọkwa nke a nkenke dị mkpa maka ngwa ndị chọrọ ịrụ ọrụ na-adịgide adịgide na ịdịte aka, dị ka ụlọ ọrụ ikuku, ụgbọ ala, na ụlọ ọrụ mgbasa ozi.
Ịgbakwunye ụdị SiC nke ụdị Semicera's 8 Inch N n'ime ahịrị mmepụta gị na-enye ntọala maka ịmepụta ihe ndị nwere ike iguzogide gburugburu ebe siri ike na oke okpomọkụ. Wafers ndị a zuru oke maka ngwa na ntụgharị ike, teknụzụ RF na mpaghara ndị ọzọ na-achọsi ike.
Ịhọrọ Semicera's 8 Inch N-ụdị SiC Wafers pụtara itinye ego na ngwaahịa na-ejikọta sayensị ihe dị elu yana injinịa ziri ezi. Semicera agba mbọ ịkwalite ikike nke teknụzụ semiconductor, na-enye azịza na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ eletrọnị gị dịkwuo elu.
| Ihe | Mmepụta | Nnyocha | Dummy |
| kristal Parameters | |||
| Ụdị poly | 4H | ||
| Njehie nhazi ihu elu | <11-20>4±0.15° | ||
| Igwe ọkụ eletrik | |||
| Dopant | n-ụdị Nitrogen | ||
| Nguzogide | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanical Parameters | |||
| Dayameta | 150.0± 0.2mm | ||
| Ọkpụrụkpụ | 350± 25 μm | ||
| Ntuzi aka dị larịị | [1-100]±5° | ||
| Ogologo larịị nke isi | 47.5 ± 1.5mm | ||
| Ụlọ nke abụọ | Ọ dịghị | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Ụta | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ihu (Si-face) adịghị ike (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nhazi | |||
| Njupụta Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 nkea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Igwe adịghị ọcha | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ogo ihu | |||
| N'ihu | Si | ||
| Ngwucha elu | Si-ihu CMP | ||
| Ụmụ irighiri ihe | ≤60ea/wafer (nha≥0.3μm) | NA | |
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm. Ogologo ngụkọta ≤ Dayameta | Ogologo ngụkọta ≤2* dayameta | NA |
| Peel oroma / olulu / ntụpọ / striations / mgbawa / mmetọ | Ọ dịghị | NA | |
| Iberibe ibe / indents / mgbaji / hex | Ọ dịghị | ||
| Mpaghara polytype | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤20% | Mpaghara mkpokọta≤30% |
| Akara laser n'ihu | Ọ dịghị | ||
| Ogo azụ | |||
| Ngwucha azụ | C-ihu CMP | ||
| Ọkpụkpụ | ≤5ea/mm, Mgbakọ ogologo≤2* dayameta | NA | |
| Nrụrụ azụ (nkịta ihu/indents) | Ọ dịghị | ||
| Azụ isi ike | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Akara laser azụ | 1 mm (si n'akụkụ elu) | ||
| Ọnụ | |||
| Ọnụ | Chamfer | ||
| Nkwakọ ngwaahịa | |||
| Nkwakọ ngwaahịa | Epi dị njikere na nkwakọ ihe efu Ngwunye cassette ọtụtụ wafer | ||
| * Ihe edeturu: "NA" pụtara enweghị arịrịọ Ihe anaghị ekwupụta nwere ike na-ezo aka na SEMI-STD. | |||
