Silicon carbide wafer usoro mmepụta

Silicon carbide waferA na-eji ntụ ntụ silicon dị elu na ntụ ntụ dị ọcha dị elu dị ka akụrụngwa, na silicon carbide crystal na-eto site na usoro mbufe ikuku anụ ahụ (PVT), wee hazie ya ka ọ bụrụ akụrụngwa.silicon carbide wafer.

① Ngwakọta akụrụngwa. A na-agwakọta ntụ ntụ silicon dị ọcha na ntụ ntụ dị ọcha dị elu dị ka akụkụ ụfọdụ si dị, na-arụkọ ọrụ ọnụ ọgụgụ silicon carbide na okpomọkụ dị elu karịa 2,000 ℃. Mgbe e gwepịasịrị, ihicha na usoro ndị ọzọ, a na-akwado ihe akụrụngwa silicon carbide ntụ ntụ dị ọcha nke na-emezu ihe achọrọ maka uto kristal.

② kristal uto. N'iji ntụ ntụ SIC dị elu dị ka akụrụngwa, kristal toro site na usoro mbufe ikuku anụ ahụ (PVT) site na iji ọkụ kristal mepụtara onwe ya.

③ nhazi ingot. Ingot silicon carbide kristal enwetara bụ nke X-ray one crystal orientator tụbara ya, wee gbatuo ma tụgharịa, wee hazie ya ka ọ bụrụ kristal silicon carbide dayameta ọkọlọtọ.

④ Ịcha kristal. N'iji akụrụngwa ịkpụ ọtụtụ ahịrị, a na-egbutu kristal silicon carbide n'ime mpempe akwụkwọ dị mkpa na ọkpụrụkpụ nke na-erughị 1mm.

⑤ Chip egweri. A na-akụtu wafer ahụ ka ọ dị larịị na adịghị ike nke achọrọ site na mmiri dayamọnd na-egweri ihe dị iche iche nha.

⑥ Chip polishing. Ejiri silicon carbide a na-egbu maramara na-enweghị mmebi elu nwetara site na nchacha igwe na ncha kemịkalụ.

⑦ Nchọpụta mgbawa. Jiri ngwa anya microscope, X-ray diffractometer, atomiki ike microscope, onye na-abụghị kọntaktị resistivity tester, elu flatness tester, surface discrehensive tester na ngwa na akụrụngwa ndị ọzọ iji chọpụta njupụta microtubule, kristal mma, elu roughness, resistivity, warpage, curvature, ọkpụrụkpụ mgbanwe, elu ọkọ na ndị ọzọ paramita nke silicon carbide wafer. Dị ka nke a si dị, a na-ekpebi ọkwa dị mma nke mgbawa.

⑧ Nhicha mgbawa. A na-eji ihe na-ehicha ihe na mmiri dị ọcha na-ehichapụ mpempe akwụkwọ silicon carbide polishing na mmiri dị ọcha iji wepụ mmiri mmiri na-egbuke egbuke na ihe ndị ọzọ dị n'elu na mpempe akwụkwọ na-egbuke egbuke, mgbe ahụ, a na-afụ wafer ahụ ma maa jijiji site na nitrogen dị ọcha na igwe ihicha; A na-etinye wafer ahụ n'ime igbe mpempe akwụkwọ dị ọcha n'ime ụlọ dị oke ọcha iji mepụta wafer silicon carbide nke dị njikere iji mee ihe.

N'ịba nha mgbawa ahụ, ka ọ na-esikwu ike na uto kristal kwekọrọ na teknụzụ nhazi, yana ịdị elu nke nrụpụta nke ngwaọrụ ndị dị n'okpuru ala, ọnụ ahịa unit ahụ na-ebelata.