Akụkụ nke abụọ maka obere baffles na usoro Epitaxial

Nkọwa dị mkpirikpi:

Akụkụ graphite mkpuchi SiC maka akụrụngwa epitaxial SiC.

Ntinye na ojiji ngwaahịa: tube quartz ejikọtara, nwere ike ịfefe gas ka ọ na-ebugharị tray base ntụgharị, njikwa okpomọkụ

Ọnọdụ ngwaọrụ nke ngwaahịa: n'ime ụlọ mmeghachi omume, ọ bụghị na kọntaktị kpọmkwem na wafer

Ngwaahịa ndị dị n'okpuru ala: ngwaọrụ ike

Isi ọnụ ahịa: ụgbọ ala ume ọhụrụ